- 专利标题: 氧化铈浆料、氧化铈抛光浆料以及使用其抛光衬底的方法
- 专利标题(英): Cerium oxide slurry, cerium oxide polishing slurry and method for polishing substrate using the same
-
申请号: CN200680038577.5申请日: 2006-10-18
-
公开(公告)号: CN101291778B公开(公告)日: 2012-06-20
- 发明人: 榎本和宏 , 吉川茂
- 申请人: 日立化成工业株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 日立化成工业株式会社
- 当前专利权人: 日立化成工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 葛松生
- 优先权: 304311/2005 2005.10.19 JP
- 国际申请: PCT/JP2006/320748 2006.10.18
- 国际公布: WO2007/046420 JA 2007.04.26
- 进入国家日期: 2008-04-16
- 主分类号: B24B37/00
- IPC分类号: B24B37/00 ; C09K3/14 ; H01L21/304
摘要:
本发明提供了通过使氧化铈粒子的分散性达到最大状态而减小粗大粒子的含有比率,从而同时实现减少抛光损伤以及使抛光速度高速化的氧化铈浆料、氧化铈抛光液以及使用其抛光衬底的方法。本发明是关于含有氧化铈粒子、分散剂和水的氧化铈浆料,其氧化铈重量/分散剂重量比为20~80,本发明还涉及含有上述氧化铈浆料及水溶性高分子等添加剂的氧化铈抛光液。
公开/授权文献
- CN101291778A 氧化铈浆料、氧化铈抛光液以及使用其抛光衬底的方法 公开/授权日:2008-10-22