发明授权
CN101272881B 用于从基片去除金属氧化物的装置和方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 用于从基片去除金属氧化物的装置和方法
- 专利标题（英）： Apparatus for the removal of a metal oxide from a substrate and methods therefor
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申请号： CN200680035902.2申请日： 2006-09-22
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公开(公告)号： CN101272881B公开(公告)日： 2013-08-28
- 发明人: 衡石·亚历山大·尹 , 威廉·蒂 , 耶兹迪·多尔迪 , 安德鲁·D·贝利三世
- 申请人： 朗姆研究公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 朗姆研究公司
- 当前专利权人： 朗姆研究公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海胜康律师事务所
- 代理商 周文强; 李献忠
- 优先权： 11/237,457 2005.09.27 US
- 国际申请： PCT/US2006/036959 2006.09.22
- 国际公布： WO2007/038256 EN 2007.04.05
- 进入国家日期： 2008-03-27
- 主分类号： B23K10/00
- IPC分类号： B23K10/00
摘要：
本发明披露了一种产生用于从基片去除金属氧化物的等离子的装置。该实施方式包括通电电极组件，它又包括：通电电极、第一介电层、以及被布置在该通电电极和该第一介电层之间的第一金属丝网。该实施方式还包括接地电极组件，它被布置在相对该通电电极组件一侧以形成腔，在该腔中产生该等离子，当该等离子存在于该腔中时，该第一介电层防护该第一金属丝网不受该等离子影响，该腔在一端具有出口以用于提供该等离子来去除该金属氧化物。
公开/授权文献
- CN101272881A 用于从基片去除金属氧化物的装置和方法 公开/授权日：2008-09-24
