发明授权
CN101218062B 用于粘接工件和微结构元件的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 用于粘接工件和微结构元件的方法
- 专利标题(英): Method for bonding work pieces and micro-structured component
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申请号: CN200680024626.X申请日: 2006-06-28
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公开(公告)号: CN101218062B公开(公告)日: 2010-10-27
- 发明人: H·迈尔 , O·屈茨 , R·赫贝尔 , C·马德里 , J·埃茨科恩 , T·瓦戈
- 申请人: 埃托特克德国有限公司
- 申请人地址: 德国柏林
- 专利权人: 埃托特克德国有限公司
- 当前专利权人: 埃托特克德国有限公司
- 当前专利权人地址: 德国柏林
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 王永建
- 优先权: 102005032115.1 2005.07.07 DE
- 国际申请: PCT/EP2006/006534 2006.06.28
- 国际公布: WO2007/006461 EN 2007.01.18
- 进入国家日期: 2008-01-04
- 主分类号: B23K20/02
- IPC分类号: B23K20/02
摘要:
为了形成适于制造由多个单独层组成的微结构元件的非常坚固的粘接接头,提出了一种粘接方法,通过该方法,形成工件的粘接结构,所述粘接结构包括至少一个夹置于工件之间的金属粘接层,并且通过该方法,粘接结构被加热至低于所述至少一个粘接层的熔化温度的粘接温度。根据本发明,利用化学或者电解方法沉积所述至少一个粘接层。
公开/授权文献
- CN101218062A 用于粘接工件和微结构元件的方法 公开/授权日:2008-07-09