Invention Publication
- Patent Title: 带有可控制切割边缘的用于分离产品的方法和设备、及分离的产品
- Patent Title (English): Method and device for separating products with a controlled cut edge, and separated product
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Application No.: CN200680009225.7Application Date: 2006-03-21
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Publication No.: CN101147241APublication Date: 2008-03-19
- Inventor: H·J·范埃格蒙德 , J·L·J·齐芝洛
- Applicant: 飞科公司
- Applicant Address: 荷兰德伊芬
- Assignee: 飞科公司
- Current Assignee: 飞科国际有限公司
- Current Assignee Address: 荷兰德伊芬
- Agency: 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司
- Agent 尹振启
- Priority: 1028588 2005.03.22 NL
- International Application: PCT/NL2006/050061 2006.03.21
- International Announcement: WO2006/118454 EN 2006.11.09
- Date entered country: 2007-09-21
- Main IPC: H01L21/304
- IPC: H01L21/304 ; B23K26/06 ; B23K26/40 ; H01L21/78

Abstract:
本发明涉及一种分离产品的方法,特别是用激光切割方法在半导体电路中,从共同载体分离产品的方法。本发明还涉及一种用于分离产品的设备。本发明进一步涉及一种产品,特别是使用本发明激光束方法分离安装在载体上的半导体。
Public/Granted literature
- CN101147241B 用于分离具有可控切割边产品的方法和设备及分离的产品 Public/Granted day:2011-01-12
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IPC分类: