Invention Publication
- Patent Title: 涂层组合物的涂敷方法、半导体元件及平板显示器
- Patent Title (English): Method for coating composition, semiconductor element and flat display
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Application No.: CN200710101756.5Application Date: 2007-05-08
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Publication No.: CN101069879APublication Date: 2007-11-14
- Inventor: 拉尔夫·格罗滕米勒 , 沃尔夫冈·汉斯·察恩 , 冈特·胡尔茨奇 , 高桥修一
- Applicant: AZ电子材料(日本)株式会社
- Applicant Address: 日本国东京都
- Assignee: AZ电子材料(日本)株式会社
- Current Assignee: 默克专利有限公司
- Current Assignee Address: 日本国东京都
- Agency: 北京三幸商标专利事务所
- Agent 刘激扬
- Priority: 2006－130843 2006.05.09 JP
- Main IPC: B05C5/02
- IPC: B05C5/02 ; B05C11/10 ; B05D7/24 ; B05B1/24 ; G03F7/26 ; H01J17/49 ; G02F1/13
Abstract:
本发明涉及一种用于高速制造均一的涂敷膜的涂敷方法以及提供利用该方法的半导体元件。一种将涂层组合物通过窄缝涂层法涂敷在基板上的涂敷方法，其特征在于使在30～100℃范围内维持一定温度的涂层组合物接触到基板上而进行涂敷。一种根据上述方法制造的半导体元件，特别是平板显示器。
Public/Granted literature
- CN101069879B 涂层组合物的涂敷方法、半导体元件及平板显示器 Public/Granted day:2012-09-26
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