发明授权
CN100594621C 一种具有高灵敏度的光电位置探测器
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种具有高灵敏度的光电位置探测器
- 专利标题(英): Photoelectric position detector with high sensitivity
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申请号: CN200710175924.5申请日: 2007-10-16
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公开(公告)号: CN100594621C公开(公告)日: 2010-03-17
- 发明人: 邢杰 , 吕惠宾 , 何萌 , 金奎娟 , 刘国珍 , 周岳亮 , 杨国桢
- 申请人: 中国科学院物理研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区中关村南三街8号
- 专利权人: 中国科学院物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院物理研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区中关村南三街8号
- 代理机构: 北京泛华伟业知识产权代理有限公司
- 代理商 王勇
- 主分类号: H01L31/109
- IPC分类号: H01L31/109
摘要:
本发明提供一种高灵敏度光电位置探测器,包括:Si衬底、电极和电极;利用制膜的方法,把TiN薄膜外延生长在Si衬底上;利用镀膜或焊接的方法,在Si衬底的两边处制备电极电极和电极。当一个光点照射在探测器的表面时,用电压表测量电极和电极之间的电压,或在电极和TiN之间连接一个电压源,使TiN和Si构成的肖特基二极管工作在反偏压状态下,测量电极和电极之间的电流,即可按所测量的电压或电流来辨别其光点的位置。本发明提供的光电位置探测器,结构简单、线性好和具有灵敏度高,不需要额外的放大电路就可直接探测,而且可探测纳秒级的快脉冲信号。
公开/授权文献
- CN101414645A 一种具有高灵敏度的光电位置探测器 公开/授权日:2009-04-22
IPC分类: