两层挠性基板
Abstract:
本发明的课题在于提供一种蚀刻特性、与抗蚀剂的粘合性优异,没有表面缺陷的两层挠性基板。通过提供下述两层挠性基板而解决了上述课题,即,一种两层挠性基板,是在绝缘体膜的一面或两面上,不使用粘结剂地设置有铜层的两层挠性基板,其特征在于,铜层的表面粗糙度(Ra)为0.10~0.25μm,并且铜层剖面中的距离绝缘体膜1μm处的铜的平均结晶粒径为0.8μm以下。作为绝缘体膜,优选聚酰亚胺膜。
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