通过共注入而在基底中形成弱化区的方法
摘要:
本发明涉及一种薄层制造方法,其中,通过在基底(1)中注入化学物质产生弱化埋入区,以便之后可沿着所述弱化区开始所述基底(1)的断裂,以从其分离出所述薄层(6)。根据本发明,所述制造方法尤其包括以下步骤:a)在基底(1)中的主深度(5)的主化学物质(4)的主注入;b)在基底(1)中的不同于所述主深度(5)的次深度(3)的至少一种次化学物质(2)的至少一次次注入,其中所述次化学物质(2)在弱化基底(1)方面的效力不及主化学物质(4),并且其浓度高于主化学物质(4)的浓度;c)所述次化学物质(2)的至少一部分向主深度(5)附近迁移;以及d)沿着主深度(5)开始所述断裂。本发明同样涉及借助本发明方法获得的薄层。
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