矩形基片分割设备
Abstract:
公开了一种矩形基片分割设备,其能够以小的空间分割矩形基片,将通过分割而形成为单块的器件收容到器件盒中,并且可靠且高效地从贴附在矩形基片背面的保护带拾取器件。矩形基片的背面贴附着保护带,并且矩形基片上形成有用于将矩形基片分割成多个器件的预定分离线,矩形基片分割设备沿着预定分离线分割矩形基片以使矩形基片分割为各器件,并将各器件收容在器件盒中。在切割操作区中,矩形基片被从匣中搬出,被切割装置切割,再被清洗装置清洗。在带剥离操作区中,器件被拾取,而保护带被剥离。在器件收容操作区中,拾取的各器件被收容在器件盒中。
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