台面型压电振动片
摘要:
本发明提供了一种台面型压电振动片,其选择了适合于压电基板尺寸的台面蚀刻深度。本发明的台面型压电振动片是在形成为矩形状的压电基板12的板面上具有厚度尺寸比周边部16大的振动部14的台面型压电振动片10,上述的振动部14形成为,阶梯部位于压电基板12中生成的弯曲模式的波腹位置。另外,其特征在于,如果用于形成上述阶梯部的蚀刻深度的最小值Md_min以y表示,则设压电基板12的长边的长度为x,振动部14的板厚为t时,以板厚t为基准,蚀刻深度y满足y=-1.32×(x/t)+43±5(%)的关系。
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