发明授权
- 专利标题: 台面型压电振动片
- 专利标题(英): Mesa-shaped piezoelectric resonator element
-
申请号: CN200610142790.2申请日: 2006-10-31
-
公开(公告)号: CN100511992C公开(公告)日: 2009-07-08
- 发明人: 内藤松太郎 , 青岛义幸
- 申请人: 爱普生拓优科梦株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 爱普生拓优科梦株式会社
- 当前专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 黄纶伟
- 优先权: 2005-315733 2005.10.31 JP
- 主分类号: H03H9/19
- IPC分类号: H03H9/19
摘要:
本发明提供了一种台面型压电振动片,其选择了适合于压电基板尺寸的台面蚀刻深度。本发明的台面型压电振动片是在形成为矩形状的压电基板12的板面上具有厚度尺寸比周边部16大的振动部14的台面型压电振动片10,上述的振动部14形成为,阶梯部位于压电基板12中生成的弯曲模式的波腹位置。另外,其特征在于,如果用于形成上述阶梯部的蚀刻深度的最小值Md_min以y表示,则设压电基板12的长边的长度为x,振动部14的板厚为t时,以板厚t为基准,蚀刻深度y满足y=-1.32×(x/t)+43±5(%)的关系。
公开/授权文献
- CN1960178A 台面型压电振动片 公开/授权日:2007-05-09
IPC分类: