本发明涉及一种用于制造局部金属化薄膜元件的方法和装置，还涉及由所述方法制造的局部金属化薄膜元件。根据的本发明包括：生成一个数字化记录(332)，该数字化记录定义了一个根据所述数字化记录计算出的局部金属化的图形形状，设定了工具(38)的移动以及用于控制所述工具(38)的控制数据，在工具移动路径上使工具(38)以及一个单层或多层的薄膜体(30)相对于彼此移动，并且借助于工具(38)对金属层(31)进行局部脱金属化处理，尤其是通过使用蚀刻树脂的蚀刻剂(52)并对金属层(31)进行腐蚀来进行脱金属化处理，所述脱金属化处理由控制数据来控制。