公开(公告)号：US20050136669A1

公开(公告)日：2005-06-23

申请号：US10848019

申请日：2004-05-18

申请人： Chia-Hao Lee ,  Wen-Cheng Liu ,  Deng-Yann Huoh

发明人： Chia-Hao Lee ,  Wen-Cheng Liu ,  Deng-Yann Huoh

IPC分类号： B24B37/00 ,  C09G1/02 ,  C09K3/14 ,  H01L21/302 ,  H01L21/461

CPC分类号： C09G1/02

摘要： The present invention relates to a chemical mechanical abrasive slurry for polishing a color photoresist, comprising composite abrasive particles and an aqueous medium. The abrasive slurry of the present invention can effectively polish off horn-like protuberances color filter processing.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于抛光彩色光致抗蚀剂的化学机械磨料浆料，其包含复合磨料颗粒和水性介质。 本发明的磨料浆料可以有效地抛光喇叭形突起物滤色器处理。