公开(公告)号：US20140038348A1

公开(公告)日：2014-02-06

申请号：US13728348

申请日：2012-12-27

Applicant: SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.

Inventor： Bong-Kyun Kim ,  Hong Sick Park ,  Wang Woo Lee ,  Young Min Moon ,  Seung Ho Yoon ,  Young Joo Choi ,  Sang-Woo Kim ,  Ki-Beom Lee ,  Dae-Woo Lee ,  Sam-Young Cho

IPC: H01L21/465 ,  H01L29/66

CPC classification number: H01L21/465 ,  C09K13/00 ,  C09K13/06 ,  C23F1/30 ,  H01L21/32134 ,  H01L29/66969 ,  H01L29/7869

Abstract: An etchant composition includes ammonium persulfate (((NH4)2)S2O8), an azole-based compound, a water-soluble amine compound, a sulfonic acid-containing compound, a nitrate-containing compound, a phosphate-containing compound, a chloride-containing compound, and residual water.

Abstract translation: 蚀刻剂组合物包括过硫酸铵（（（NH4）2）S2O8），唑类化合物，水溶性胺化合物，含磺酸化合物，含硝酸盐化合物，含磷酸盐化合物，氯化物 含有化合物和残留水。