公开(公告)号：US06269548B1

公开(公告)日：2001-08-07

申请号：US09172147

申请日：1998-10-14

申请人： Hiroyuki Shinozaki ,  Junichiro Yoshioka ,  Kazuaki Maeda ,  Akihisa Hongo

发明人： Hiroyuki Shinozaki ,  Junichiro Yoshioka ,  Kazuaki Maeda ,  Akihisa Hongo

IPC分类号： F26B1724

CPC分类号： H01L21/68792 ,  F16C2300/62

摘要： A spin processing apparatus can prevent contamination of workpieces by wear particles, and can operate at high efficiency while lowering the noise level associated with the operation of the apparatus. The spin processing apparatus includes a chamber, a spin holder disposed inside the chamber for holding workpieces, and driver device for rotating the spin holder. A supporting device is provided for rotatably supporting the spin holder in a non-contact manner through a magnetically-operated mechanism.

摘要翻译： 旋转处理装置可以防止磨损颗粒对工件的污染，并且可以在降低与装置的操作相关的噪声水平的同时高效率地操作。 旋转处理装置包括：室，设置在室内用于保持工件的旋转架，以及用于旋转旋转架的驱动装置。 提供支撑装置，用于通过磁力操作机构以非接触方式可旋转地支撑旋转保持器。