公开(公告)号：US07250599B2

公开(公告)日：2007-07-31

申请号：US10533598

申请日：2003-11-04

Applicant: Dietmar Funnemann ,  Matthias Escher

Inventor： Dietmar Funnemann ,  Matthias Escher

IPC: H01J39/05 ,  H01J49/44

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/295 ,  H01J49/48

Abstract: The invention relates to an energy filter image generator for filtering electrically charged particles. The inventive energy filter comprises at least two toroidal energy analysers (30, 40) arranged one inside the other. A transfer lens device (20) is disposed between the plane of emergence (5) of the first energy analyser (30) and the plane of incidence of the second energy analyser (40), thereby making it possible to obtain the perfect energy filtered reproduction of the surface (1′) of a sample on a detector (10).

Abstract translation: 本发明涉及一种用于过滤带电粒子的能量过滤器图像发生器。 本发明的能量过滤器包括一个彼此内置的至少两个环形能量分析器（30,40）。 转移透镜装置（20）设置在第一能量分析器（30）的出射面（5）和第二能量分析器（40）的入射平面之间，从而可以获得完美的能量过滤再生 的检测器（10）上的样品的表面（1'）。