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公开(公告)号：CN119582808A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411560574.4
申请日：2024-11-04
Applicant: 中国原子能科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种用于脉冲高频电离装置的双频驱动装置，该双频驱动装置用于为第三方可调双频矢量阻抗匹配装置提供待放大的双频信号，该待放大的双频信号内禀有双频的频率、幅度和时延特征；该双频驱动装置的双频频率控制信号、双频幅度控制信号、正/余弦信号、已调信号均为位宽一定的数字信号；本发明通过将双频驱动装置和第三方的功率放大器+可调双频矢量阻抗匹配装置相结合，用双频驱动装置的一个频率实现负载端的高产额等离子体；再用双频驱动装置的另一个频率实现负载端的冷启动点火功能和维持等离子体存续功能，解决了单一频率的脉冲高频电离方法不能同时兼顾特定频率功率需求和脉冲高频电离装置冷启动打火和打火维持阶段功率需求的问题。
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公开(公告)号：CN119532150A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411664106.1
申请日：2024-11-20
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明属于航天推进技术领域，涉及一种自中和微波离子推力器及其工作方法。该推力器包括经腔体连接通道连通的放电腔体A和放电腔体B，放电腔体A、微波接头与正电荷粒子引出系统形成放电室A，放电腔体B、微波接头与负电荷粒子引出系统包围形成放电室B；在放电腔体的腔体连接通道一侧无永磁体，两个永磁体阵列提供的磁场磁极方向相反，使腔体连接通道内部形成连通的磁感线。两个放电腔体之间连通的磁感线引导带电粒子运动，使两个放电腔体内部的等离子体连通，进行电荷交换，维持准电中性，为推力器下游实现羽流中和提供内部条件。通过施加直流偏置电压，正电荷粒子引出系统引出正电荷粒子，负电荷粒子引出系统引出负电荷粒子，实现羽流中和。
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公开(公告)号：CN118785594B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202410967842.8
申请日：2024-07-18
Applicant: 江苏神州半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了等离子体技术领域内的一种远程等离子体的磁芯散热温度调节方法及调节系统，该调节方法包括以下步骤：通过温度传感器检测磁芯的实时温度值Ts，并与第一参考温度值Tref1进行比较；若Ts＞Tref1，则执行：增加腔体水盘的冷却水水流量并且提高散热风扇转速，间隔设定时间ta后，持续将实时温度值Ts与第二参考温度值Tref2进行比较；若Ts＞Tref2，则执行：降低谐振变换器的输出频率fs，间隔设定时间tb后；将输出频率fs控制在所述谐振变换器的谐振频率fsn处，进一步降低温度，使系统快速到达热平衡。本磁芯散热温度调节控制方法通过三段式温度控制策略易于高效地实现降温，实现监控反馈的智能化，提升远程等离子源系统稳定性。
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公开(公告)号：CN119149872B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411660602.X
申请日：2024-11-20
Applicant: 中国科学技术大学
Inventor： 胡广月
Abstract: 本发明涉及激光等离子体技术领域，本发明提供了一种用于激发激光等离子体光源的激光参数确定方法，包括：根据激光等离子体预激发波长确定激发所述激光等离子体的靶物质；根据所述激光等离子体的靶物质确定所述激光等离子体的电子温度；基于所述激光等离子体的电子温度确定所述激光等离子体光源的参数，所述参数包括：激光波长、激光焦斑直径以及激光脉冲宽度；其中，基于所述激光波长确定所述激光等离子体发光区沿靶法向的膨胀速度V，使所述膨胀速度V、激光脉冲宽度T和激光焦斑直径D满足关系式：#imgabs0#。本发明通过公开最佳激光焦斑和激光脉冲宽度关系的表达式，使满足数值关系时激光等离子体光源的发光效率最大。
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公开(公告)号：CN119095247B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202411569927.7
申请日：2024-11-05
Applicant: 北京屹唐半导体科技股份有限公司
IPC: H05H1/24 , H05H1/02 , H01J37/32 , H01L21/311
Abstract: 本公开涉及一种等离子体产生系统和用于处理半导体工件的方法。其中，等离子体产生系统包括主体部分和主体腔室；等离子体生成部分和等离子体生成腔室；气体供应系统，用于将工艺气体输送至等离子体生成腔室内；气体分配组件，用于将工艺气体分配至等离子体生成腔室内；等离子体源，配置为使工艺气体产生等离子体；导向装置，配置用于引导等离子体的流向；以及连接部件，配置为连接等离子体生成部分和导向装置；其中，导向装置包括基体和导向部分。本公开的等离子体产生系统能够在不调整原有工艺条件和参数的情况下，通过导向装置的移动，调整处理腔室内的等离子体分布密度，从而优化去灰均匀性。
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公开(公告)号：CN119421313A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202411692338.8
申请日：2024-11-25
Applicant: 江苏正道可燃冰管道有限公司
IPC: H05H1/24
Abstract: 本发明公开了一种纤维增强带材制备用等离子体处理装置及其处理方法，包含等离子体发生装置、前阻流装置和后阻流装置，前阻流装置设置在等离子体发生装置的进料端，后阻流装置设置在等离子体发生装置的出料端，前阻流装置和后阻流装置内沿轴向设置有多道容纳空气的阻流容腔，前阻流装置与等离子体发生装置的连接处设置有主进气口，前阻流装置的进气端设置有次进气口。本发明通过阻流结构减少丝束带入处理空间的空气，有助于均匀稳定的等离子体产生，并且减少了混合气体的损耗。
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公开(公告)号：CN119403026A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411516621.5
申请日：2024-10-29
Applicant: 北京真空电子技术研究所(中国电子科技集团公司第十二研究所)
Abstract: 本发明公开了一种空心阴极组件，包括发射体、顶孔板、热子、导气管、辅助极以及触持极；触持极为圆筒结构，一端结合固定有板体，板体的中心开设有通孔，发射体、顶孔板、热子、辅助极和导气管均与触持极同轴设置；导气管为空心管体结构，穿设于触持极内；顶孔板结合固定于导气管靠近板体的一端，顶孔板的中心开设有小孔；热子包裹于导气管的外周面；发射体位于导气管内，与顶孔板抵接，发射体的中心开设有贯穿发射体的空腔，空腔和小孔连通；辅助极穿设于导气管且其中一端位于空腔内，空腔为锥形结构，靠近顶孔板一侧开口的内径小于远离顶孔板一侧开口的内径，有利于减小放电电流震荡，提高空心阴极组件的稳定性。
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公开(公告)号：CN119400724A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411291129.2
申请日：2019-11-14
Applicant: 周星工程股份有限公司
Inventor： 黄喆周
IPC: H01L21/67 , H05H1/24 , H01L21/687 , H01J37/32 , H01L21/02 , C23C16/455
Abstract: 本发明涉及一种基板处理装置和基板处理方法，基板处理装置包括：腔室；基板支撑单元，基板支撑单元安装在腔室内部的处理空间中以使得一个或多个基板能够旋转；第一气体喷射单元，用于在处理空间的第一区域上喷射源气体；第二气体喷射单元，用于在处理空间的第二区域上喷射反应气体，反应气体在第二区域上与源气体发生反应；以及第三气体喷射单元，用于在第三区域上喷射净化气体，净化气体划分第一区域和第二区域，其中等离子体形成在第二区域中。
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公开(公告)号：CN115413102B
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202210968492.8
申请日：2022-08-12
Applicant: 西安电子科技大学
Abstract: 本发明提供一种等离子体发生装置和产生等离子体活化雾的静电喷雾器，该装置包括：壳体，壳体的一端与喷头连接，壳体内设有等离子发生器；等离子发生器呈平板状介质阻挡放电结构；等离子发生器包括介质层、地电极和高压电极，地电极朝向喷头一侧；等离子体发生器设置有通孔，通孔依次贯穿地电极、介质层和高压电极；地电极为风叶结构，地电极连接电机的转轴，转轴穿过通孔。
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公开(公告)号：CN119300222A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202411245862.0
申请日：2024-09-06
Applicant: 河北大学
IPC: H05H1/24
Abstract: 本发明涉及一种利用微空腔放电获取大体积等离子体的系统及方法，所述系统包括真空放电室、正高压直流电源、负高压直流电源、真空泵、气源、质量流量计和气压表等部分；在真空放电室中内置有正偏置阳极和微空腔阴极；正偏置阳极是在钼片上分布有气孔和钼针；微空腔阴极是在两层钼片之间夹有陶瓷片，在三层结构的阴极板上开有微空腔；正高压直流电源的正极连接正偏置阳极的钼片和钼针，为正偏置阳极提供正的偏置电压；负高压直流电源的正极经限流电阻R2连接微空腔阴极中的阳极钼片，负极经限流电阻R1连接微空腔阴极中与阴极钼片；负高压直流电源用于为微空心阴极提供负高压。本发明增大了高密度等离子的生成体积，放电体积可以达到10cm3以上。
