正型感光性组合物
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1910521A

    公开(公告)日:2007-02-07

    申请号:CN200580002009.5

    申请日:2005-07-12

    Inventor: 佐藤勉

    Abstract: 提供一种正型感光性组合物,该组合物可以在无需热处理和25~60%湿度条件下得到非常优良的密接性,可以在低碱性强度下显影,能够保持高感光度并能进行不产生残渣的显影,能获得鲜明、清晰的轮廓,因抗蚀膜非常坚硬而能提高显影前处理中的耐擦伤性。所述正型感光性组合物含有(A)分子中至少有一个羧基的碱溶性高分子物质;(B)吸收显影曝光光源的红外线将其转变成热的光热变换物质;及(C)硫醇化合物。

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