流体配给装置
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102481790B

    公开(公告)日:2015-08-19

    申请号:CN200980160754.0

    申请日:2009-08-04

    Abstract: 一种流体配给装置包括:流体喷射器单元,具有多个喷嘴并在长度方向上延伸,以形成与基底的宽度一致的配给区域,所述流体喷射器单元配置成通过所述多个喷嘴向所述配给区域喷射流体;多个模块化调节器构件,配置成将流体调节到预定压力范围并向所述流体喷射器单元的对应组的喷嘴提供已调节流体,在长度方向上布置所述多个模块化调节器构件,使得每个所述模块化调节器构件都与至少一个其他模块化调节器构件相邻;以及流体通道单元,具有至少一个流体入口和多个流体通道,配置成向相应模块化调节器构件提供流体。

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