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公开(公告)号:CN101410955B
公开(公告)日:2011-04-13
申请号:CN200780011516.4
申请日:2007-03-27
IPC: H01L21/304 , B24B37/00 , C09K3/14
CPC classification number: H01L21/7684 , C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1463 , H01L21/31053 , H01L21/3212
Abstract: 本发明提供化学机械研磨用水系分散体,含有作为磨粒的成分(A)、喹啉羧酸和吡啶羧酸中至少一方的成分(B)、除了喹啉羧酸和吡啶羧酸以外的有机酸的成分(C)、作为氧化剂的成分(D)以及作为具有三键的非离子型表面活性剂的成分(E),所述成分(B)的配合量(WB)与所述成分(C)的配合量(WC)的质量比(WB/WC)为0.01以上且小于2,所述成分(E)由下述通式(1)表示。(式中,m和n各自独立为1以上的整数,并且满足m+n≦50)。
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公开(公告)号:CN101410955A
公开(公告)日:2009-04-15
申请号:CN200780011516.4
申请日:2007-03-27
IPC: H01L21/304 , B24B37/00 , C09K3/14
CPC classification number: H01L21/7684 , C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1463 , H01L21/31053 , H01L21/3212
Abstract: 本发明提供化学机械研磨用水系分散体,含有作为磨粒的成分(A)、喹啉羧酸和吡啶羧酸中至少一方的成分(B)、除了喹啉羧酸和吡啶羧酸以外的有机酸的成分(C)、作为氧化剂的成分(D)以及作为具有三键的非离子型表面活性剂的成分(E),所述成分(B)的配合量(WB)与所述成分(C)的配合量(WC)的质量比(WB/WC)为0.01以上且小于2,所述成分(E)由上述通式(1)表示。(式中,m和n各自独立为1以上的整数,并且满足m+n≤50)。
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公开(公告)号:CN1347939A
公开(公告)日:2002-05-08
申请号:CN01130347.6
申请日:2001-09-30
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: C08G61/08
Abstract: 公开了一种组合物,它包括一种环烯烃的加成共聚物,含有由下述结构式(1)和(2)所示的重复单元,和至少一种选自下述化合物的化合物:(A)一种在加热到50℃或更高温度时可用作酸的化合物,(B)一种选自烷氧基化合物、芳氧基化合物、羰基化合物、β-二酮化合物、卤素化合物或氧化物的金属化合物,和(C)一种选自于下述物质组成的组中的化合物:有机羧酸、有机磷酸、有机磺酸、氨、伯胺至叔胺化合物和季铵盐氢氧化物。所述组合物具有优良的光学透明性、耐溶剂性能、尺寸稳定性性、耐热性、粘着到金属和无积材料上的粘着性,它适合用于光学透明材料和电子元件,可经由硅氧烷键通过交联所述组合物获得一种交联产品,并可由所述组合物制得薄膜、薄片或涂层。
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公开(公告)号:CN100478391C
公开(公告)日:2009-04-15
申请号:CN01130347.6
申请日:2001-09-30
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: C08G61/08
Abstract: 公开了一种组合物,它包括一种环烯烃的加成共聚物,含有由下述结构式(1)和(2)所示的重复单元,右式和至少一种选自下述化合物的化合物:(A)一种在加热到50℃或更高温度时可用作酸的化合物,(B)一种选自烷氧基化合物、芳氧基化合物、羰基化合物、β-二酮化合物、卤素化合物或氧化物的金属化合物,和(C)一种选自于下述物质组成的组中的化合物:有机羧酸、有机磷酸、有机磺酸、氨、伯胺至叔胺化合物和季铵盐氢氧化物。所述组合物具有优良的光学透明性、耐溶剂性能、尺寸稳定性性、耐热性、粘着到金属和无机材料上的粘着性,它适合用于光学透明材料和电子元件,可经由硅氧烷键通过交联所述组合物获得一种交联产品,并可由所述组合物制得薄膜、薄片或涂层。
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公开(公告)号:CN1298762C
公开(公告)日:2007-02-07
申请号:CN200380106335.1
申请日:2003-11-12
Applicant: JSR株式会社
IPC: C08G61/12
CPC classification number: C08G61/06 , Y10S525/94
Abstract: 本发明提供双折射比较小,对双折射具有特殊的波长依赖性,透明性与耐热性好的降冰片烯系开环聚合物。本发明的聚合物具有通式(I)的结构单元(I)。[通式(I)中,m与n是0-2的整数,X1是亚乙基或亚乙烯基,R1及R2是氢原子或取代或非取代的C1-C30的烃基,R3是通式(I-1)或(I-2)的基团。通式(I-1)及(I-2)中,R11-R27是氢原子;卤原子;可以具有含或不含氧原子、硫原子、氮原子或硅原子的连接基的取代或非取代的C1-C30的烃基;或极性基。通式(I-1)中p及q是0或正的整数,p=q=0时,R12与R15或R19与R15可以相互结合形成碳环或杂环,这些碳环或杂环既可以是单环结构,也可以是多环结构。通式(I-2)中,s是0或正的整数。]
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公开(公告)号:CN1726244A
公开(公告)日:2006-01-25
申请号:CN200380106335.1
申请日:2003-11-12
Applicant: JSR株式会社
IPC: C08G61/12
CPC classification number: C08G61/06 , Y10S525/94
Abstract: 本发明提供双折射比较小,对双折射具有特殊的波长依赖性,透明性与耐热性好的降冰片烯系开环聚合物。本发明的聚合物具有通式(I)的结构单元(I)。 [通式(I)中,m与n是0-2的整数,X1是亚乙基或亚乙烯基,R1及R2是氢原子或取代或非取代的C1-C30的烃基,R3是通式(I-1)或(I-2)的基团。通式(I-1)及(I-2)中,R11-R27是氢原子;卤原子;可以具有含或不含氧原子、硫原子、氮原子或硅原子的连接基的取代或非取代的C1-C30的烃基;或极性基。通式(I-1)中p及q是0或正的整数,p=q=0时,R12与R15或R19与R15可以相互结合形成碳环或杂环,这些碳环或杂环既可以是单环结构,也可以是多环结构。通式(I-2)中,s是0或正的整数。]
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