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公开(公告)号：CN115719721A
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202211652707.1
申请日：2016-08-29
Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/68 , H01L21/683 , H01L23/544 , B23K20/00
Abstract: 本发明涉及用于对准衬底的方法和设备。在所述对准之前，附加地由第三检测单元(7)进行所述第一衬底支架(10)和/或所述第一衬底(16)的第三对准标记(22)的第三X‑Y位置和/或第三对准方位的检测，借助所述第三检测单元(7)来控制所述对准，其中为了对准所述第一衬底(16)和所述第二衬底(17)，所述第三X‑Y位置和/或所述第三对准方位与a)所述第一X‑Y位置和/或所述第一对准方位和b)所述第二X‑Y位置和/或所述第二对准方位中的至少一个进行相关，并且在所述对准期间进行实时测量及调节。
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公开(公告)号：CN110168711B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN201780025114.3
申请日：2017-09-21
Applicant: EV , 集团 , E·索尔纳有限责任公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/18 , H01L21/20 , H01L21/687
Abstract: 本发明涉及一种用于将第一基板(4o)与第二基板(4u)在基板(4o,4u)的彼此面对的接触面(4k)处接合的方法，其中，第一基板(4o)被接纳在第一接纳设备(1o)上且第二基板(4u)被接纳在第二接纳设备(1u)上，且其中，在第二基板(4u)与第二接纳设备(1u)之间布置有板(17u)，其中，第二基板(4u)与板(4u)在接合之前且/或在接合期间相对第二接纳设备(1u)被变形。此外，本发明涉及一种对应的装置及一种对应的板。
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公开(公告)号：CN110168711A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201780025114.3
申请日：2017-09-21
Applicant: EV , 集团 , E·索尔纳有限责任公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/18 , H01L21/20 , H01L21/687
Abstract: 本发明涉及一种用于将第一基板(4o)与第二基板(4u)在基板(4o,4u)的彼此面对的接触面(4k)处接合的方法，其中，第一基板(4o)被接纳在第一接纳设备(1o)上且第二基板(4u)被接纳在第二接纳设备(1u)上，且其中，在第二基板(4u)与第二接纳设备(1u)之间布置有板(17u)，其中，第二基板(4u)与板(4u)在接合之前且/或在接合期间相对第二接纳设备(1u)被变形。此外，本发明涉及一种对应的装置及一种对应的板。
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公开(公告)号：CN109496345A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201680087883.1
申请日：2016-08-12
Applicant: EV , 集团 , E·索尔纳有限责任公司
CPC classification number: H01L21/2007 , H01L21/187 , H01L21/67092 , H01L21/67248 , H01L21/67259 , H01L21/67288 , H01L21/68 , H01L21/6838
Abstract: 本发明涉及一种用于将第一衬底(4o)与第二衬底(4u)在所述衬底(4o、4u)的面向彼此的接触面(4k)处接合的方法和设备。
