公开(公告)号：CN108713165A

公开(公告)日：2018-10-26

申请号：CN201780014623.6

申请日：2017-02-03

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： H·巴特勒 ,  C·A·L·德胡恩 ,  F·M·雅各布斯 ,  P·卡甘 ,  J·P·斯塔雷维尔德 ,  M·W·J·E·维杰克曼斯

IPC: G03F7/20 ,  F16F15/02 ,  F16F15/023 ,  F16F15/027 ,  F16F9/02

CPC classification number: G03F7/709 ,  F16F9/02 ,  F16F9/0227 ,  F16F15/02 ,  F16F15/0232 ,  F16F15/0275 ,  G03F7/70841

Abstract: 本发明涉及一种振动隔离器(VI)，其包括：基座(10)；耦合到振动敏感物体的耦合元件(20)；去耦质量(30)；布置在基座(10)与去耦质量(30)之间的第一振动隔离器部分(31)；以及布置在去耦质量(30)与耦合元件(20)之间的第二振动隔离器部分(40)，并且其中第一振动隔离器部分和第二振动隔离器部分中的至少一个包括气动隔离器。

公开(公告)号：CN112041749A

公开(公告)日：2020-12-04

申请号：CN201980028073.2

申请日：2019-03-18

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： H·巴特勒 ,  J·S·德比尔 ,  C·A·L·德胡恩 ,  J·P·斯塔雷维尔德 ,  M·范杜伊恩霍芬 ,  M·W·J·E·维杰克曼斯

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种用于光刻设备的气动支撑装置和具备这种支撑装置的光刻设备。所述支撑装置包括气弹簧。所述气弹簧包括悬挂部件、被悬挂部件和压力腔室，所述压力腔室被配置用于相对于所述悬挂部件支撑所述被悬挂部件。所述支撑装置还包括被配置成用于相对于所述悬挂部件定位所述被悬挂部件的致动器、被配置用于产生表示所述悬挂部件的加速度的第一传感器信号的加速度传感器、被配置用于产生表示所述压力腔室中的压力的第二传感器信号的压力传感器。所述控制单元被配置成：接收第一传感器信号、接收第二传感器信号、在低通滤波器中对所述第一传感器信号进行滤波、在高通滤波器中对所述第二传感器信号进行滤波、基于经滤波的第一传感器信号和经滤波的第二传感器信号来确定由所述悬挂部件对所述被悬挂部件施加的力以及基于所述力产生针对所述致动器的控制信号。

公开(公告)号：CN114174693A

公开(公告)日：2022-03-11

申请号：CN202080054855.6

申请日：2020-07-09

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： J·J·M·范德威亚德文 ,  J·P·M·B·弗穆伦 ,  J·P·斯塔雷维尔德 ,  S·H·范德莫伦

IPC: F16F1/02 ,  F16F1/06 ,  F16F1/13 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供了一种支撑件(1)，包括：第一端部(2)和第二端部(3)，其中第二端部(3)在支撑件的纵向方向上位于与第一端部(2)相反的一侧上；线圈弹簧(4)，被布置在第一端部(2)和第二端部(3)之间，该线圈弹簧(4)包括：第一螺旋构件(5)，在支撑件(1)的圆周方向上在第一端部(2)和第二端部(3)之间延伸；以及第二螺旋构件(6)，在支撑件(1)的圆周方向上在第一端部(2)和第二端部(3)之间延伸，其中线圈弹簧的第一螺旋构件(5)和线圈弹簧(4)的第二螺旋构件(6)相对于彼此是可移动的，其中支撑件(1)还包括被附接到第一螺旋构件(5)的阻尼器装置(20)。