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公开(公告)号：CN101724814A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200810224631.6
申请日：2008-10-22
Abstract: 本发明提供一种蒸镀机的被镀物改良固持装置，包括第一传动机构，其包含受驱动装置所驱动旋转的第一转轴及第一转轮，以及具有固定盘及连接于其上的支撑臂的支撑架，与一对第二传动机构，分别形成于该第一转轮的相对应侧，第二传动机构包含绕着该第一转轮而转动的第二转轮、穿接第二转轮及固定盘的第二转轴及连接于第二转轴的第三转轮；以及第三传动机构，其具有受第三转轮所传动的第四转轮及穿接第四转轮及支撑臂的被镀物承接轴；其中被镀物承接轴的轴心线与第一转轴的轴心延伸线相互垂直；借此使被镀物固持装置可作公转及自转。
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公开(公告)号：CN1908227A
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN200510089033.9
申请日：2005-08-03
Applicant: 陈竞清
Inventor： 陈竞清
Abstract: 一种物理气相沉积蒸镀机的磁性过滤装置，设置在蒸镀机的溅镀靶出口，包括有管体及设于管体外部周缘的磁场产生机构；其中，该管体具有入口端、出口端及形成于上述二者之间的弯曲部；该入口端连接于溅镀靶的出口，通过改变该磁场产生机构的磁场强度，来控制从该溅镀靶所溅击出，并通过管体内部的金属离子的颗粒大小与移动方向；由此，可对溅镀靶所溅击出的金属离子进行微米颗粒与纳米颗粒的分离，并使纳米颗粒吸附于被镀物的表面，增加镀膜的结构强度及提高被镀物的机械性能与延长使用寿命。
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公开(公告)号：CN101724814B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200810224631.6
申请日：2008-10-22
Abstract: 本发明提供一种蒸镀机的被镀物改良固持装置，包括第一传动机构，其包含受驱动装置所驱动旋转的第一转轴及第一转轮，以及具有固定盘及连接于其上的支撑臂的支撑架，与一对第二传动机构，分别形成于该第一转轮的相对应侧，第二传动机构包含绕着该第一转轮而转动的第二转轮、穿接第二转轮及固定盘的第二转轴及连接于第二转轴的第三转轮；以及第三传动机构，其具有受第三转轮所传动的第四转轮及穿接第四转轮及支撑臂的被镀物承接轴；其中被镀物承接轴的轴心线与第一转轴的轴心延伸线相互垂直；借此使被镀物固持装置可作公转及自转。
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公开(公告)号：CN2825650Y
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN200520103205.9
申请日：2005-08-03
Applicant: 陈竞清
Inventor： 陈竞清
Abstract: 一种物理气相沉积蒸镀机的磁性过滤装置，设置在蒸镀机的溅镀靶出口，包括有管体及设于管体外部周缘的磁场产生机构；其中，该管体具有入口端、出口端及形成于上述二者之间的弯曲部；该入口端连接于溅镀靶的出口，通过改变该磁场产生机构的磁场强度，来控制从该溅镀靶所溅击出，并通过管体内部的金属离子的颗粒大小与移动方向；由此，可对溅镀靶所溅击出的金属离子进行微米颗粒与纳米颗粒的分离，并使纳米颗粒吸附于被镀物的表面，增加镀膜的结构强度及提高被镀物的机械性能与延长使用寿命。
