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公开(公告)号：CN115598429A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211474099.X
申请日：2022-11-23
Applicant: 西安交通大学(CN)
Abstract: 本发明涉及电场传感器领域和MEMS领域，具体公开了一种压电驱动的旋转式微型电场传感器及其工作方法，基板上开设有第一圆孔，第一感应电极和第二感应电极在第一圆孔的外周依次交错间隔排列；环形支撑板同轴设置于第一圆孔中，若干个压电驱动单元设置于环形支撑板表面并沿环形支撑板的周向均匀分布；环形支撑板的外缘和第一圆孔之间在每个压电驱动单元正对的位置连接有支撑梁；屏蔽电极设置于基板的一侧，摩擦部与所有压电驱动单元相接触，屏蔽部用于对第一感应电极和第二感应电极进行周期性屏蔽；盖板与基板连接，屏蔽电极位于盖板与基板之间并与盖板相抵。本发明传感器能够利用MEMS工艺进行制备，体积相对较小。
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