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公开(公告)号：CN108449950A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201680067979.1
申请日：2016-11-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/5747 , B81B2201/0242 , G01C19/5712
Abstract: 本发明涉及微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器具有带旋转振荡轴承（157）的旋转振荡器（140）。所述旋转振荡器（157）包括：摇臂（152）；摇动弹簧棒（154），所述摇动弹簧棒使摇臂（152）与转速传感器（100）的衬底弹性地连接；和两个支承弹簧棒（153），所述支承弹簧棒在摇动弹簧棒（154）的相反侧上使摇臂（152）与旋转振荡器（140）弹性地连接。从另一视角，提供了用于制造这样的微机械的转速传感器（100）的方法。
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公开(公告)号：CN108449950B
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN201680067979.1
申请日：2016-11-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器具有带旋转振荡轴承（157）的旋转振荡器（140）。所述旋转振荡器（157）包括：摇臂（152）；摇动弹簧棒（154），所述摇动弹簧棒使摇臂（152）与转速传感器（100）的衬底弹性地连接；和两个支承弹簧棒（153），所述支承弹簧棒在摇动弹簧棒（154）的相反侧上使摇臂（152）与旋转振荡器（140）弹性地连接。从另一视角，提供了用于制造这样的微机械的转速传感器（100）的方法。
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公开(公告)号：CN108449949B
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201680067919.X
申请日：2016-11-09
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5747
Abstract: 本发明提供了微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器具有：第一科里奥利元件（110）；第一驱动臂（113），所述第一驱动臂沿着第一科里奥利元件（110）布置并且通过第一弹簧（114）耦合到第一科里奥利元件（110）上；以及第一驱动电极载体（136、137），所述驱动电极载体从第一驱动臂（113）朝相对于第一科里奥利元件（120）相反的方向延伸并且承载多个平行于第一驱动臂（113）延伸的第一驱动电极（138、139）。从另一视角，提供了用于运行这样的微机械的转速传感器（100）的方法。
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公开(公告)号：CN108449949A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201680067919.X
申请日：2016-11-09
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/5747 , B81B2201/0242 , G01C19/5712
Abstract: 本发明提供了微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器具有：第一科里奥利元件（110）；第一驱动臂（113），所述第一驱动臂沿着第一科里奥利元件（110）布置并且通过第一弹簧（114）耦合到第一科里奥利元件（110）上；以及第一驱动电极载体（136、137），所述驱动电极载体从第一驱动臂（113）朝相对于第一科里奥利元件（120）相反的方向延伸并且承载多个平行于第一驱动臂（113）延伸的第一驱动电极（138、139）。从另一视角，提供了用于运行这样的微机械的转速传感器（100）的方法。
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