用于EUV光刻的超薄超低密度膜

    公开(公告)号:CN115943346B

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202180047759.3

    申请日:2021-09-15

    Abstract: 公开了一种过滤形成的纳米结构护层膜。所述过滤形成的纳米结构护层膜包括多条碳纳米纤维,所述多条碳纳米纤维随机交叉以形成呈平面定向的互连网络结构。所述互连结构在厚度处于3nm的下限到100nm的上限范围内的情况下允许至少92%的高最小EUV透射率,以允许有效地进行EUV光刻处理。

    复合纳米纤维片材
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108349195B

    公开(公告)日:2020-06-30

    申请号:CN201680053441.5

    申请日:2016-09-14

    Abstract: 本发明所描述的实例包括已经“浸渗”有聚合物的复合纳米纤维片材(即,所述聚合物已经流过所述纳米纤维片材的表面并进入由纳米纤维限定的片材内的至少一些空间中)。当所述浸渗性聚合物是粘合剂并且所述粘合剂从所述纳米纤维片材的一个主表面浸渗所述纳米纤维片材时,形成粘合剂纳米纤维带。在其他描述的实例中,所述片材中的纳米纤维的一些部分已用至少一个金属层适形地涂覆。

    用于EUV光刻的超薄超低密度膜

    公开(公告)号:CN115943346A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202180047759.3

    申请日:2021-09-15

    Abstract: 公开了一种过滤形成的纳米结构护层膜。所述过滤形成的纳米结构护层膜包括多条碳纳米纤维,所述多条碳纳米纤维随机交叉以形成呈平面定向的互连网络结构。所述互连结构在厚度处于3nm的下限到100nm的上限范围内的情况下允许至少92%的高最小EUV透射率,以允许有效地进行EUV光刻处理。

    包括粘合剂和一个或多个纳米纤维片材的多层复合材料

    公开(公告)号:CN108349194B

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN201680053360.5

    申请日:2016-09-14

    Abstract: 本发明公开了用于生产粘合剂纳米纤维复合材料的多层复合材料的技术。具体地,一个或多个高度对齐的纳米纤维片材部分地嵌入粘合剂中,使得所述纳米纤维片材的至少一部分没有粘合剂,并且可用于与邻近电气特征部一起传导电流。在一些示例性实施方案中,所述粘合剂纳米纤维复合材料用导电金属来金属化,并且在这些和其他实施方案中,所述粘合剂纳米纤维复合材料也可以是可拉伸的。

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