公开(公告)号：CN118522662A

公开(公告)日：2024-08-20

申请号：CN202410177248.9

申请日：2024-02-08

Applicant: 气体产品与化学公司

Inventor： 吴亮 ,  庞文珊 ,  祁路路 ,  于翔 ,  于镭健 ,  陈颎 ,  G·K·阿斯拉尼安 ,  周宇翔

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/60

Abstract: 本发明涉及一种用于晶圆氧化物移除及回流焊处理的装置及方法。具体地，本发明涉及一种用于晶圆氧化物移除及回流焊处理的装置，其包含：加热板、用于将晶圆样品支撑在加热板上方的样品板及位于样品板上方的电子附着针板，其中加热板经配置以能够上下移动，并接触且加热样品板。

公开(公告)号：CN215745574U

公开(公告)日：2022-02-08

申请号：CN202122077073.9

申请日：2021-08-31

Applicant: 气体产品与化学公司

Inventor： 覃锋 ,  陈颎 ,  相飞 ,  蔡京晶 ,  祁路路 ,  于镭健

IPC: B21C29/04 ,  B21C25/02

Abstract: 本实用新型涉及一种挤压模具液氮冷却系统，包括：液氮源；管路，其与液氮源和挤压模具中的液氮通道连通；液氮控制阀组，其包括设置在管路中的流量阀，用于调节通过该管路供入挤压模具的液氮通道中的液氮的流量；以及用于测量挤压模具进料的挤压位置的传感器，液氮控制阀组构造为根据测得挤压位置来自动地调节流量阀的开度。该挤压模具液氮冷却系统还可包括如下构件中的至少一种：与管路连通的气液分离器，用于分离气相与液相氮气；用于冷量回收的双套管结构；用于使液氮加速的液氮加速喷嘴；以及布置在流量阀之间的用于释放气态氮压力的压力释放阀。本实用新型还涉及一种挤压模具套件，其包括挤压模具以及如上所述的挤压模具液氮冷却系统。