公开(公告)号：CN113492356A

公开(公告)日：2021-10-12

申请号：CN202110285164.3

申请日：2021-03-17

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 中村显 ,  鸟越恒男 ,  铃木佑多 ,  松尾尚典 ,  神子岛隆仁

IPC: B24B37/005 ,  B24B37/013 ,  B24B37/10 ,  G06F30/17 ,  G06F30/27 ,  G06N20/00 ,  H01L21/66 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明是研磨装置、信息处理系统、研磨方法及记录介质，研磨装置能够参照存储有使用学习用数据而完成学习的机器学习模型的存储体，该学习用数据将关于研磨中的研磨部件与基板间的摩擦力的信号的特征量或研磨中的研磨部件或基板的温度的特征量作为输入，并将关于研磨后的基板的膜厚的数据或研磨后的基板所包含的关于产品合格率的参数作为输出，研磨装置具备处理器，该处理器根据关于研磨中的研磨部件与基板间的摩擦力的信号、或者研磨中的研磨部件或对象基板的温度而生成特征量，将该生成的特征量输入所述完成学习的机器学习模型，由此输出关于研磨后的基板的膜厚的数据或研磨后的基板所包含的关于产品合格率的参数的任意一个作为推定值。

公开(公告)号：CN117501414A

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202280042683.X

申请日：2022-05-24

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 铃木佑多 ,  高桥广毅 ,  中村显 ,  渡边和英 ,  松尾尚典 ,  神子岛隆仁

IPC: H01L21/304

Abstract: 基板处理装置具备：在基板的研磨中和/或清洗中和/或干燥中对对象的物理量进行检测的至少一个传感器；对于已学习的机器学习模型，将由所述传感器检测到的研磨中和/或清洗中和/或干燥中的传感器值按照每个处理步骤转换为特征量的转换部；以及通过将包含所述特征量的对象数据输入已学习的机器学习模型而输出对象的基板中的缺陷的数量、缺陷的尺寸、缺陷的位置中的至少一个的预测值的推论部，所述已学习的机器学习模型使用学习数据组进行学习，该学习数据组的输入数据包含将在对象的生产线或与该对象的生产线同种的生产线中由传感器检测到的研磨中和/或清洗中的传感器值按照每个处理步骤转换而得到的特征量，且该学习数据组的输出数据是基板中的缺陷的数量、缺陷的尺寸、缺陷的位置中的至少一个。