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公开(公告)号：CN114767122B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202210412030.8
申请日：2022-04-19
Applicant: 杭州电子科技大学 , 杭州电子科技大学温州研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有激光二极管耦合光波导结构的三维神经光电极阵列。现有的神经光电极大多采用贴片机将激光二极管和光波导进行直接耦合来实现光刺激。然而，这种光耦合方式使得激光二极管的对准困难且光损耗较大。此外，位于电极基部上方凸起的激光二极管也不利于神经光电极通过堆叠进行三维集成。本发明采用梯度折射率透镜对激光二极管的光束进行聚焦和准直，从而提高其与光波导之间的光耦合效率。另外，通过利用异平面电镀键合技术，实现了激光二极管在平面内无凸起的键合，解决了神经光电极的三维堆叠关键问题，为神经科学研究提供更为精准的神经调控工具。
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公开(公告)号：CN113371674B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202110593586.7
申请日：2021-05-28
Applicant: 杭州电子科技大学温州研究院有限公司 , 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种宽量程压力传感器芯片及其单片集成制备方法。现有的压力传感器芯片存在线性度和灵敏度低以及量程较窄的问题。本发明涉及压阻式压力传感器的单片微加工制备。该压力传感器主要由真空腔室、压力敏感膜以及由四个压阻形成的惠斯通电桥构成。其中，压力敏感膜由硅膜和聚酰亚胺膜构成，这种新型的硅‑聚酰亚胺复合压敏膜一方面可以通过增加膜厚来增大压力传感器的测量范围，另一方面通过刚性和柔性的结合可以提高压力传感器的灵敏度和线性度。当外界压力变化时，硅膜和聚酰亚胺膜的共同形变引起压阻的阻值变化并使得惠斯通电桥的输出电压改变。
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公开(公告)号：CN114136504B
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202111431894.6
申请日：2021-11-29
Applicant: 杭州电子科技大学温州研究院有限公司 , 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种电容式柔性压力传感器及其制备方法。现有的电容式压力传感器虽然获得了较高的灵敏度，但是其结构鲁棒性和稳定性较差。本发明涉及电容式柔性压力传感器的单片微加工制备与阵列集成。该压力传感器主要由一对具有特定间隙的平行电极板和位于极板中间的倒梯形介质层构成。通过采用单面微加工技术在柔性聚合物衬底上单片集成电容器的上下极板和介电层，提高了器件制备的可靠性和一致性；通过采用倒梯形的介质层结构设计，增大了电极板在受压下的机械形变和恢复速度，提高了柔性压力传感器的灵敏度和响应速度。
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公开(公告)号：CN113460950A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110750535.0
申请日：2021-07-02
Applicant: 杭州电子科技大学温州研究院有限公司 , 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于心血管疾病监测的柔性可穿戴心电极及其制备方法。目前，标准的用于ECG信号检测的商用Ag/AgCl电极主要通过导电胶来维持电极和皮肤之间良好的导电性。然而，这种导电胶会随着时间的增加而变得干燥，从而导致电极‑组织界面阻抗的变化以及信号质量的急剧降低。本发明拟采用具有低杨氏模量和高生物相容性的PDMS和SU‑8作为干电极的衬底，通过保形贴附和减小刺激来提高佩戴舒适度。另一方面，为了提高信号的稳定性，本项目拟采用中空的微针阵列来刺穿皮肤角质层，通过结合电化学修饰和电解液缓释来降低电极与组织之间的界面阻抗，从而提高ECG信号的质量和稳定性。
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公开(公告)号：CN111613964B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202010460927.9
申请日：2020-05-27
Applicant: 杭州电子科技大学温州研究院有限公司 , 杭州电子科技大学
IPC: H01S5/02345 , H01S5/0237 , A61B5/266 , A61B5/293 , A61B5/294 , A61B5/378 , A61B5/388
Abstract: 本发明公开了一种用于神经记录和刺激的柔性神经光电极及其制备方法。现有的神经电极仅能够采集信号无法对大脑进行刺激，且往往过刚或过柔，导致脑损伤或植入困难。本发明一种用于神经记录和刺激的柔性神经光电极，包括记录层、电磁屏蔽层和光刺激层。依次层叠设置的记录层、电磁屏蔽层、光刺激层共同形成神经光电极结构；探针的尖端设置有暴露的记录电极点。探针上的光刺激层形成截面为矩形的光波导结构。电极基体上光刺激层设置有LD安置槽。LD安置槽内设置有刺激光源。刺激光源与探针上的光波导结构对准；本发明拥有良好的柔性，且SU‑8光刻胶提供了合适的刚性，在提高光传输效率的同时避免电极探针植入时的弯曲。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111613964A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010460927.9
申请日：2020-05-27
Applicant: 杭州电子科技大学温州研究院有限公司 , 杭州电子科技大学
IPC: H01S5/022 , A61B5/0478 , A61B5/0484
Abstract: 本发明公开了一种用于神经记录和刺激的柔性神经光电极及其制备方法。现有的神经电极仅能够采集信号无法对大脑进行刺激，且往往过刚或过柔，导致脑损伤或植入困难。本发明一种用于神经记录和刺激的柔性神经光电极，包括记录层、电磁屏蔽层和光刺激层。依次层叠设置的记录层、电磁屏蔽层、光刺激层共同形成神经光电极结构；探针的尖端设置有暴露的记录电极点。探针上的光刺激层形成截面为矩形的光波导结构。电极基体上光刺激层设置有LD安置槽。LD安置槽内设置有刺激光源。刺激光源与探针上的光波导结构对准；本发明拥有良好的柔性，且SU-8光刻胶提供了合适的刚性，在提高光传输效率的同时避免电极探针植入时的弯曲。
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公开(公告)号：CN114061823B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202111355489.0
申请日：2021-11-16
Applicant: 杭州电子科技大学温州研究院有限公司 , 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种温度自补偿的高灵敏度压力传感器阵列及其制备方法。现有的压力传感器芯片存在线性度和灵敏度低以及温度补偿困难的问题。本发明涉及压阻式压力传感器的单片微加工制备与阵列集成。该压力传感器阵列主要由分布在四个桥臂上的压力传感器芯片构成。通过将两个灵敏度和测压范围不同的压力传感器芯片进行串联，可以在增大测压范围和灵敏度的同时保持良好的线性度。通过将两个灵敏度和测压范围相同的压力传感器串联支路进行并联，并使其中一个支路的压力传感器硅膜受压，另一支路的压力传感器的硅膜不受压，可以实现温度漂移的自补偿功能。
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公开(公告)号：CN117122749A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202311018657.6
申请日：2023-08-14
Applicant: 杭州电子科技大学温州研究院有限公司 , 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种具有长期生物相容性维持的神经微电极及其制备方法。现有的神经电极大部分只有较少的记录点位，使得空间分辨率较低；柔性电极植入的部分宽度较大，导致产生更多的创伤区域。本发明一种用于神经记录、具有长期生物相容性维持的神经微电极，包括记录层，电化学修饰层和生物相容性涂层。本发明采用MEMS兼容的PVD技术实现生物相容性多肽涂层的制备，大大提高电极的制备效率和一致性。完全覆盖在电极点和整个探针表面的生物相容性涂层具有特殊的多孔纳米纤维结构，可实现离子导电。本发明使用电化学修饰层改善了电极点记录性能，在提高生物相容性的同时不会严重影响电极阻抗和记录能力。
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公开(公告)号：CN114136504A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111431894.6
申请日：2021-11-29
Applicant: 杭州电子科技大学温州研究院有限公司 , 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种电容式柔性压力传感器及其制备方法。现有的电容式压力传感器虽然获得了较高的灵敏度，但是其结构鲁棒性和稳定性较差。本发明涉及电容式柔性压力传感器的单片微加工制备与阵列集成。该压力传感器主要由一对具有特定间隙的平行电极板和位于极板中间的倒梯形介质层构成。通过采用单面微加工技术在柔性聚合物衬底上单片集成电容器的上下极板和介电层，提高了器件制备的可靠性和一致性；通过采用倒梯形的介质层结构设计，增大了电极板在受压下的机械形变和恢复速度，提高了柔性压力传感器的灵敏度和响应速度。
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公开(公告)号：CN114061823A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111355489.0
申请日：2021-11-16
Applicant: 杭州电子科技大学温州研究院有限公司 , 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种温度自补偿的高灵敏度压力传感器阵列及其制备方法。现有的压力传感器芯片存在线性度和灵敏度低以及温度补偿困难的问题。本发明涉及压阻式压力传感器的单片微加工制备与阵列集成。该压力传感器阵列主要由分布在四个桥臂上的压力传感器芯片构成。通过将两个灵敏度和测压范围不同的压力传感器芯片进行串联，可以在增大测压范围和灵敏度的同时保持良好的线性度。通过将两个灵敏度和测压范围相同的压力传感器串联支路进行并联，并使其中一个支路的压力传感器硅膜受压，另一支路的压力传感器的硅膜不受压，可以实现温度漂移的自补偿功能。
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