公开(公告)号：CN101160331B

公开(公告)日：2010-12-15

申请号：CN200680012901.6

申请日：2006-03-22

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 川口泰秀 ,  *川昭彦

IPC: C08F220/10 ,  B29C59/02 ,  C08F220/22 ,  H01L21/027

CPC classification number: B29C37/0053 ,  B29C35/0888 ,  B29C43/003 ,  B29C43/021 ,  B29C2035/0833 ,  B29C2043/3634 ,  B29C2059/023 ,  B29K2105/0002 ,  B29L2011/0016 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C08F220/18 ,  C08F220/24 ,  C08F222/1006 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/027

Abstract: 提供了可以高效制造耐热性、耐化学性、脱模性、光学特性(透明性、低折射率性)等物性优良的精细图案形成体的光固化性组合物，以及可以在表面高精度转印模具的精细图案的精细图案形成体的制造方法。该光固化性组合物的特征在于，含有25℃时的粘度为0.1～100mPa·s的不含氟原子的单体50～98质量％、含氟单体0.1～45质量％、含量大于0.1质量％且小于等于20质量％的含氟表面活性剂及/或含氟聚合物、以及光聚合引发剂1～10质量％，且实质上不含溶剂。使用该光固化性组合物、基板以及表面具有精细图案的模具的、由固化物形成的精细图案形成体或与基板一体的该精细图案形成体的制造方法，该固化体具有转印了模具的精细图案的表面。