公开(公告)号：CN112771205B

公开(公告)日：2023-06-02

申请号：CN201980064308.3

申请日：2019-10-18

Applicant: 日本钇股份有限公司

Inventor： 佐藤龙一 ,  深川直树 ,  松仓贤人 ,  三小田修树 ,  森内诚治 ,  重吉勇二 ,  福本昌宏 ,  山田基宏

IPC: C23C24/04

Abstract: 本发明的冷喷涂用材料包含利用BET一点法获得的比表面积为30m2/g以上的稀土类元素化合物的粉末。还优选利用气体吸附法获得的细孔直径为3nm以上且20nm以下的细孔容积为0.08cm3/g以上。还优选所述粉末的晶粒直径为25nm以下。还优选休止角为10°以上且60°以下。还优选L*a*b*系表色系色坐标的L值为85以上、a值为‑0.7以上且0.7以下、b值为‑1以上且2.5以下。

公开(公告)号：CN113727946A

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN201980095558.3

申请日：2019-07-24

Applicant: 日本钇股份有限公司

Inventor： 松仓贤人 ,  森内诚治

IPC: C01F17/34 ,  C01F17/10 ,  C04B35/10 ,  C04B35/44 ,  C23C4/11 ,  C23C14/32

Abstract: 本发明的成膜用或烧结用粉末在X射线衍射测定中观察到立方晶Y3Al5O12的峰和斜方晶YAlO3的峰，斜方晶YAlO3的(112)峰相对于立方晶Y3Al5O12的(420)峰的强度比为0.01以上且低于1。或者，本发明的成膜用或烧结用粉末具有钇及铝的复合氧化物，0.1μm～1μm的细孔容积为0.16mL/g以上。在使用了CuKα射线的2θ＝20°～60°的扫描范围的X射线衍射测定中，来源于立方晶Y3Al5O12的峰优选为显示出最大峰强度的峰。

公开(公告)号：CN113727946B

公开(公告)日：2024-01-02

申请号：CN201980095558.3

申请日：2019-07-24

Applicant: 日本钇股份有限公司

Inventor： 松仓贤人 ,  森内诚治

IPC: C01F17/34 ,  C01F17/10 ,  C04B35/10 ,  C04B35/44 ,  C23C4/11 ,  C23C14/32

Abstract: 本发明的成膜用或烧结用粉末在X射线衍射测定中观察到立方晶Y3Al5O12的峰和斜方晶YAlO3的峰，斜方晶YAlO3的(112)峰相对于立方晶Y3Al5O12的(420)峰的强度比为0.01以上且低于1。或者，本发明的成膜用或烧结用粉末具有钇及铝的复合氧化物，0.1μm～1μm的细孔容积为0.16mL/g以上。在使用了CuKα射线的2θ＝20°～60°的扫描范围的X射线衍射测定中，来源于立方晶Y3Al5O12的峰优选为显示出最大峰强度的峰。

公开(公告)号：CN112771205A

公开(公告)日：2021-05-07

申请号：CN201980064308.3

申请日：2019-10-18

Applicant: 日本钇股份有限公司

Inventor： 佐藤龙一 ,  深川直树 ,  松仓贤人 ,  三小田修树 ,  森内诚治 ,  重吉勇二 ,  福本昌宏 ,  山田基宏

IPC: C23C24/04

Abstract: 本发明的冷喷涂用材料包含利用BET一点法获得的比表面积为30m2/g以上的稀土类元素化合物的粉末。还优选利用气体吸附法获得的细孔直径为3nm以上且20nm以下的细孔容积为0.08cm3/g以上。还优选所述粉末的晶粒直径为25nm以下。还优选休止角为10°以上且60°以下。还优选L*a*b*系表色系色坐标的L值为85以上、a值为‑0.7以上且0.7以下、b值为‑1以上且2.5以下。