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公开(公告)号:CN107430068B
公开(公告)日:2021-01-26
申请号:CN201680020110.1
申请日:2016-03-29
Applicant: 日本电信电话株式会社 , 三菱重工业株式会社
IPC: G01N21/3504
Abstract: 本发明提供可以不进行前处理而准确且迅速地测量废气中的SO3浓度的SO3分析装置及分析方法。所述SO3分析装置具备:光源(11),对包含SO3、CO2和H2O的废气(1)照射激光(2);光接收器(13),接收对废气(1)照射的上述激光(2);控制装置(14)的光源控制部(14a),将光源(11)所照射的上述激光(2)的波长控制为4.060μm~4.182μm;以及控制装置(14)的浓度演算部(14b),基于来自光接收器(13)的输出和来自光源控制部(14a)的参照信号,利用红外分光法演算SO3浓度。
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公开(公告)号:CN107533000B
公开(公告)日:2020-05-22
申请号:CN201680019938.5
申请日:2016-03-29
Applicant: 日本电信电话株式会社 , 三菱重工业株式会社
IPC: G01N21/3504 , G01N21/03 , G01N21/39 , G01N21/61
Abstract: 本发明提供一种N2O分析装置,具备:光源(11),对包含N2O、H2O和CO2的废气(5)照射激光;光接收器(13),接收对废气(5)照射的上述激光;控制装置(14)的光源控制部(14a),将光源(11)所照射的上述激光的波长控制为3.84μm~4.00μm;以及控制装置(14)的信号分析部(14b),使用光接收器(13)所接收的上述激光和控制装置(14)的光源控制部(14a)所控制的上述激光,利用红外分光法演算N2O浓度。
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公开(公告)号:CN107430068A
公开(公告)日:2017-12-01
申请号:CN201680020110.1
申请日:2016-03-29
Applicant: 日本电信电话株式会社 , 三菱重工业株式会社
IPC: G01N21/3504
Abstract: 本发明提供可以不进行前处理而准确且迅速地测量废气中的SO3浓度的SO3分析装置及分析方法。所述SO3分析装置具备:光源(11),对包含SO3、CO2和H2O的废气(1)照射激光(2);光接收器(13),接收对废气(1)照射的上述激光(2);控制装置(14)的光源控制部(14a),将光源(11)所照射的上述激光(2)的波长控制为4.060μm~4.182μm;以及控制装置(14)的浓度演算部(14b),基于来自光接收器(13)的输出和来自光源控制部(14a)的参照信号,利用红外分光法演算SO3浓度。
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公开(公告)号:CN107533000A
公开(公告)日:2018-01-02
申请号:CN201680019938.5
申请日:2016-03-29
Applicant: 日本电信电话株式会社 , 三菱重工业株式会社
IPC: G01N21/3504 , G01N21/03 , G01N21/39 , G01N21/61
Abstract: 本发明提供一种N2O分析装置,具备:光源(11),对包含N2O、H2O和CO2的废气(5)照射激光;光接收器(13),接收对废气(5)照射的上述激光;控制装置(14)的光源控制部(14a),将光源(11)所照射的上述激光的波长控制为3.84μm~4.00μm;以及控制装置(14)的信号分析部(14b),使用光接收器(13)所接收的上述激光和控制装置(14)的光源控制部(14a)所控制的上述激光,利用红外分光法演算N2O浓度。
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公开(公告)号:CN115143479A
公开(公告)日:2022-10-04
申请号:CN202210288644.X
申请日:2022-03-23
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: F23G5/50
Abstract: 本发明提供一种能准确地掌握由进料器实现的垃圾的供给状态并使垃圾的燃烧状态稳定化的燃烧炉设备的控制装置。一种燃烧炉设备的控制装置,是具备炉主体和进料器的燃烧炉设备的控制装置,所述炉主体一边使被焚烧物燃烧一边输送被焚烧物,所述进料器向所述炉主体供给所述被焚烧物,其中,所述燃烧炉设备的控制装置具备:图像获取部,经时地获取作为包括所述进料器的区域的图像的进料器图像;亮度变化确定部,确定所述进料器图像的亮度变化;进料器动作获取部,获取所述进料器的动作信息;以及供给状态判定部,基于所述进料器图像的亮度变化的确定和所述进料器的动作信息,判定所述被焚烧物的供给量是否充足。
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公开(公告)号:CN102356452A
公开(公告)日:2012-02-15
申请号:CN201080012376.4
申请日:2010-02-15
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01L21/205 , C23C16/455 , C23C16/509 , H01L31/04 , H05H1/46
CPC classification number: C23C16/4401 , C23C16/24 , C23C16/4412 , C23C16/509 , H01J37/32082 , H01J37/3244 , H01J37/32449 , H01J37/32834 , H01L31/028 , H01L31/03685 , H01L31/03762 , H01L31/18 , H01L31/1804 , H01L31/1824 , H01L31/1868 , H01L31/202 , Y02E10/545 , Y02E10/547 , Y02E10/548 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种实现制成的膜的高品质化并且能够实现大面积化及成膜速度的高速化的真空处理装置。设置有:放电室(2),由脊形波导管构成,该脊形波导管具有彼此相对配置且其间生成等离子体的脊形电极;气体供给部(10),与放电室(2)相邻配置,朝向脊形电极供给用于形成等离子体的母气体;基板(S),配置于在基板(S)与放电室(2)之间夹着气体供给部(10)的位置,实施基于等离子体的处理;减压容器(7),内部至少收容有放电室(2)、气体供给部(10)及基板(S);及排气部(9),连通于与减压容器(7)中的气体供给部(10)之间夹着放电室(2)的位置,使减压容器(7)内部的压力降低。
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公开(公告)号:CN102105991A
公开(公告)日:2011-06-22
申请号:CN200980128810.2
申请日:2009-10-02
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01L31/04
CPC classification number: H01L31/03921 , H01L31/077 , H01L31/1804 , H01L31/182 , H01L31/1824 , H01L31/202 , Y02E10/545 , Y02E10/546 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种尽可能防止电流经由中间接触层分离槽泄漏的情况的光电转换装置的制造方法。该方法包括:制膜以非结晶硅为主成分的顶层(91)的工序;在顶层(91)上制膜进行电连接及光学连接的中间接触层(93)的工序;照射脉冲激光,除去中间接触层(93),并形成到达顶层(91)的中间接触层分离槽(14)而将中间接触层(93)分离的工序;在中间接触层(93)上及中间接触层分离槽(14)内制膜进行电连接及光学连接且以微结晶硅为主成分的底层(92)的工序。中间接触层分离槽(14)在顶层(91)的i层内形成终端。
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公开(公告)号:CN114829840A
公开(公告)日:2022-07-29
申请号:CN202080084867.3
申请日:2020-10-14
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: F23G5/50
Abstract: 本发明提供一种燃烧设备的状态确定装置,其确定燃烧设备的燃烧状态,所述燃烧设备具备:炉主体,划定形成处理空间;炉排,在处理空间中,沿输送方向输送被焚烧物;及进料器,向处理空间供给被焚烧物,处理空间区划为输送方向的多个区段,在所述燃烧设备的状态确定装置中,具备:图像获取部,获取拍摄到进料器及区段的图像即处理图像;及状态确定部,根据处理图像,确定进料器及区段各自的燃烧状态。
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公开(公告)号:CN107110777A
公开(公告)日:2017-08-29
申请号:CN201580067967.4
申请日:2015-11-25
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: G01N21/39 , F23N1/02 , F23N5/00 , F23N5/08 , G01K11/00 , G01N21/3504 , G01N21/3554
CPC classification number: F23N5/08 , F23N1/02 , F23N5/00 , G01K11/00 , G01N21/3504 , G01N21/3554 , G01N21/39 , G01N2021/3125
Abstract: 气体分析装置具备:测定部,其在多个测量路径上测定激光的吸收量,该激光包括与燃烧炉内的燃烧气体所含有的同一成分的至少两个电子能级跃迁对应的吸收波长;基准设定部,其设定基准气体浓度分布以及基准温度分布;以及解析部,其以使实测出的吸收量与基准吸收量的偏差成为最小的方式解开包含气体浓度分布以及温度分布来作为变量的二维分布函数,由此求出气体浓度分布以及温度分布。
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公开(公告)号:CN102105991B
公开(公告)日:2013-12-04
申请号:CN200980128810.2
申请日:2009-10-02
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01L31/04
CPC classification number: H01L31/03921 , H01L31/077 , H01L31/1804 , H01L31/182 , H01L31/1824 , H01L31/202 , Y02E10/545 , Y02E10/546 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种尽可能防止电流经由中间接触层分离槽泄漏的情况的光电转换装置的制造方法。该方法包括:制膜以非结晶硅为主成分的顶层(91)的工序;在顶层(91)上制膜进行电连接及光学连接的中间接触层(93)的工序;照射脉冲激光,除去中间接触层(93),并形成到达顶层(91)的中间接触层分离槽(14)而将中间接触层(93)分离的工序;在中间接触层(93)上及中间接触层分离槽(14)内制膜进行电连接及光学连接且以微结晶硅为主成分的底层(92)的工序。中间接触层分离槽(14)在顶层(91)的i层内形成终端。
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