电镀模具及其制造方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109628961A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201811122842.9

    申请日:2018-09-26

    CPC classification number: C25D1/10 C03C4/04 C25D1/00 C25D1/003 C25D1/22 G03F7/0047

    Abstract: 本发明涉及一种制造模具(3,3')的方法,包括以下步骤:a)提供其厚度至少等于模具(3,3')的高度的由光敏玻璃制成的第一基板(5),b)用紫外线透过掩模照射所述第一基板(5)以产生经照射区域(7,7'),所述掩模的窗口对应于模具(3,3')的凹部,c)对在步骤b)中获得的第一基板(5)进行热处理,以使经照射区域(7,7')晶化,d)提供在其表面上具有至少一个导电层(10)的第二基板(8),e)将步骤c)中获得的第一基板(5)与第二基板(8)接合,使得导电层(10)位于第一基板(5)和第二基板(8)之间,f)去除第一基板(5)的经照射且晶化区域(7,7')以露出导电层(10),从而形成至少一个腔室(12,12'),所述腔室的侧壁和所述腔室的由导电层(10)占据的底部形成所述模具(3,3')。本发明涉及微机械部件领域,所述微机械部件特别地用于钟表机芯。

    着色的热补偿螺旋弹簧及其制造方法

    公开(公告)号:CN110824880A

    公开(公告)日:2020-02-21

    申请号:CN201910725629.5

    申请日:2019-08-07

    Abstract: 本发明涉及制造热补偿和着色螺旋弹簧(1)的方法,其包括以下步骤:-在芯部(2)的至少一个表面(2a,2c)和芯部(2)的至少一个其它表面(2a,2b,2c,2d)上形成二氧化硅(3)的第一层,第一层的厚度等于用于实现热补偿所需厚度的一部分,-从芯部(2)的所述至少一个表面(2a,2c)去除第一层,-在芯部(2)的所述至少一个表面(2a,2c)上以及在芯部(2)的所述至少一个其它表面(2a,2b,2c,2d)上形成二氧化硅(3)的第二层,第二层的厚度等于用于实现热补偿所需厚度的剩余部分,该剩余部分小于或等于1μm,以便由于干涉效应而使芯部(2)的所述至少一个表面(2a,2b)具有颜色。

    尤其用于钟表的具有柔性条带的一件式硅装置的制造方法

    公开(公告)号:CN113253594B

    公开(公告)日:2022-07-15

    申请号:CN202110178546.6

    申请日:2021-02-09

    Abstract: 本发明涉及一种尤其用于钟表的具有柔性条带(2,3)的一件式硅装置,例如具有交叉的条带的枢轴,并涉及用于制造该装置(1)的方法。所述方法包括以下步骤:‑由SOI型晶片形成(21)一件式硅装置(1)的坯件,所述装置(1)包括两个柔性条带(2,3),每个柔性条带形成于所述SOI型晶片的不同层中,所述条带(2,3)布置在两个不同的基本上平行的平面中,所述条带(2,3)通过间隙(7)分隔开,‑在至少一个所述条带(2,3)的与所述间隙相邻的表面上生长第一二氧化硅层,该第一二氧化硅层由一个或更多个所述柔性条带(2,3)的第一硅子层形成,‑去除第一二氧化硅层,以增加两个柔性条带(2,3)之间的间隙(7)。

    用于钟表的具有表面纹理结构的部件及其制造方法

    公开(公告)号:CN110824878B

    公开(公告)日:2022-01-25

    申请号:CN201910730557.3

    申请日:2019-08-08

    Abstract: 本发明涉及一种系统(1),其包括两个部件(2),所述两个部件用于在给定的摩擦方向上通过摩擦表面彼此摩擦接触,其中摩擦发生在功能区域中,所述系统(1)的特征在于,所述两个部件(2)中的至少一个在功能区域中包括带有纹理结构的表面,该纹理结构由一系列通过峰部(3b)分隔开的弧形的槽(3a)形成或由一系列通过槽(3a)分隔开的凸起(3c)形成,所述槽(3a)平行于所述给定的摩擦方向延伸,并允许排出由摩擦产生的碎屑(4)并用作润滑剂(5)的储存部。本发明还涉及通过DRIE(深反应离子蚀刻)工艺制造至少一个部件(2)或模具的方法,其中通过DRIE工艺加工的侧壁上的表面缺陷用于形成所述槽(3a)。

    电镀模具及其制造方法
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109628961B

    公开(公告)日:2021-11-19

    申请号:CN201811122842.9

    申请日:2018-09-26

    Abstract: 本发明涉及一种制造模具(3,3')的方法,包括以下步骤:a)提供其厚度至少等于模具(3,3')的高度的由光敏玻璃制成的第一基板(5),b)用紫外线透过掩模照射所述第一基板(5)以产生经照射区域(7,7'),所述掩模的窗口对应于模具(3,3')的凹部,c)对在步骤b)中获得的第一基板(5)进行热处理,以使经照射区域(7,7')晶化,d)提供在其表面上具有至少一个导电层(10)的第二基板(8),e)将步骤c)中获得的第一基板(5)与第二基板(8)接合,使得导电层(10)位于第一基板(5)和第二基板(8)之间,f)去除第一基板(5)的经照射且晶化区域(7,7')以露出导电层(10),从而形成至少一个腔室(12,12'),所述腔室的侧壁和所述腔室的由导电层(10)占据的底部形成所述模具(3,3')。本发明涉及微机械部件领域,所述微机械部件特别地用于钟表机芯。

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