激光加工方法和装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1880004A

    公开(公告)日:2006-12-20

    申请号:CN200610092201.4

    申请日:2006-06-14

    Abstract: 激光加工方法和装置。本发明的激光加工方法,从产生激光(L2,L3)的激光振荡器(1)向由多个小型反射镜规则地排列而成的微镜阵列(7)照射激光,转换为具有与被加工物(15)的加工图形对应的截面形状的调制光(LM),通过照射光学系统(20)对被加工物(15)照射而进行激光加工,使照射光学系统(20)的光轴(202)与通过激光(L2,L3)在微镜阵列(7)上产生的衍射光的方向大致一致。

    缺陷修复装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101733545B

    公开(公告)日:2014-03-12

    申请号:CN200910210766.1

    申请日:2009-11-09

    Abstract: 本发明提供缺陷修复装置,其向基板照射具有均匀强度分布的激光。该缺陷修复装置通过光纤将从激光光源出射的激光引导到加工头而修复基板上的缺陷部分,该缺陷修复装置包括:基板台,其使所述基板保持平面状态;门式台架,其隔着所述基板台进行架设;驱动机构,其使所述基板台和所述台架相对移动;安装部,其能够沿着所述台架的水平梁进行移动,并一体安装有所述激光光源和加工头;光纤,其对一体安装在所述安装部上的所述激光光源与所述加工头之间进行连接;以及多个搅模器,将所述光纤向互不相同的方向微微弯曲而调整光纤内的模式分布。

    激光加工方法和装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101722364B

    公开(公告)日:2013-09-18

    申请号:CN200910221911.6

    申请日:2006-06-14

    Abstract: 激光加工方法和装置。本发明的激光加工方法,从产生激光(L2,L3)的激光振荡器(1)向由多个小型反射镜规则地排列而成的微镜阵列(7)照射激光,转换为具有与被加工物(15)的加工图形对应的截面形状的调制光(LM),通过照射光学系统(20)对被加工物(15)照射而进行激光加工,使照射光学系统(20)的光轴(202)与通过激光(L2,L3)在微镜阵列(7)上产生的衍射光的方向大致一致。

    激光加工方法和装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101722364A

    公开(公告)日:2010-06-09

    申请号:CN200910221911.6

    申请日:2006-06-14

    Abstract: 激光加工方法和装置。本发明的激光加工方法,从产生激光(L2,L3)的激光振荡器(1)向由多个小型反射镜规则地排列而成的微镜阵列(7)照射激光,转换为具有与被加工物(15)的加工图形对应的截面形状的调制光(LM),通过照射光学系统(20)对被加工物(15)照射而进行激光加工,使照射光学系统(20)的光轴(202)与通过激光(L2,L3)在微镜阵列(7)上产生的衍射光的方向大致一致。

    激光加工装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101298117B

    公开(公告)日:2013-04-10

    申请号:CN200810096062.1

    申请日:2008-04-30

    Abstract: 本发明的激光加工装置具有:空间调制元件,将多个微镜沿着矩形形状的调制区域内相互正交的2边进行2维排列,各微镜具有与2边交叉的旋转轴;激光光源,其入射到空间调制元件的光轴与上述旋转轴正交,相对空间调制元件基准面法线的角度为微镜相对基准面倾斜角度的2倍;照射光学系统,具有将由空间调制元件整形为预定形状的激光成像在作为加工对象的基板上的物镜,激光光源与空间调制元件之间的光轴和空间调制元件与物镜之间的光轴都配置在通过物镜的光轴的同一平面内,并朝基板照射激光;组合了空间调制元件的第一光学模块;组合了物镜的第二光学模块,在第一、二光学模块之间设置使第一光学模块绕物镜的光轴旋转的旋转机构。

    激光照射装置及使用其的激光加工系统

    公开(公告)号:CN101354481B

    公开(公告)日:2012-11-28

    申请号:CN200810134088.0

    申请日:2008-07-24

    Abstract: 本发明的激光照射装置及使用该激光照射装置的激光加工系统具有:激光光源;反射镜,其使从激光光源射出的激光由被活动支撑着的偏转面进行偏转;反射镜移动机构,其将偏转面配置成为使其可以相对于激光的光轴P1偏斜,而且可以在光轴P1方向上移动;空间调制元件,其对由反射镜偏转的激光进行空间调制,并形成朝向被照射面的开启光;以及投影光学系统,其将由空间调制元件形成的开启光投影于被加工面上。

    激光加工装置
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1880004B

    公开(公告)日:2010-08-11

    申请号:CN200610092201.4

    申请日:2006-06-14

    Abstract: 激光加工方法和装置。本发明的激光加工方法,从产生激光(L2,L3)的激光振荡器(1)向由多个小型反射镜规则地排列而成的微镜阵列(7)照射激光,转换为具有与被加工物(15)的加工图形对应的截面形状的调制光(LM),通过照射光学系统(20)对被加工物(15)照射而进行激光加工,使照射光学系统(20)的光轴(202)与通过激光(L2,L3)在微镜阵列(7)上产生的衍射光的方向大致一致。

    缺陷修复装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101733545A

    公开(公告)日:2010-06-16

    申请号:CN200910210766.1

    申请日:2009-11-09

    Abstract: 本发明提供缺陷修复装置,其向基板照射具有均匀强度分布的激光。该缺陷修复装置通过光纤将从激光光源出射的激光引导到加工头而修复基板上的缺陷部分,该缺陷修复装置包括:基板台,其使所述基板保持平面状态;门式台架,其隔着所述基板台进行架设;驱动机构,其使所述基板台和所述台架相对移动;安装部,其能够沿着所述台架的水平梁进行移动,并一体安装有所述激光光源和加工头;光纤,其对一体安装在所述安装部上的所述激光光源与所述加工头之间进行连接;以及多个搅模器,将所述光纤向互不相同的方向微微弯曲而调整光纤内的模式分布。

    激光照射装置及使用其的激光加工系统

    公开(公告)号:CN101354481A

    公开(公告)日:2009-01-28

    申请号:CN200810134088.0

    申请日:2008-07-24

    Abstract: 本发明的激光照射装置及使用该激光照射装置的激光加工系统具有:激光光源;反射镜,其使从激光光源射出的激光由被活动支撑着的偏转面进行偏转;反射镜移动机构,其将偏转面配置成为使其可以相对于激光的光轴P1偏斜,而且可以在光轴P1方向上移动;空间调制元件,其对由反射镜偏转的激光进行空间调制,并形成朝向被照射面的开启光;以及投影光学系统,其将由空间调制元件形成的开启光投影于被加工面上。

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