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公开(公告)号:CN107966377B
公开(公告)日:2023-08-29
申请号:CN201810030214.1
申请日:2018-01-12
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N3/42
Abstract: 本发明涉及一种基于仿生压电驱动原位纳米压痕/刻划测试装置,属于机电一体化精密仪器领域。由精密驱动单元、信号检测及控制单元、装夹单元、连接单元及支撑单元组成,所述精密驱动单元由两组仿生压电驱动机构提供动力,信号检测及控制单元由精密光栅尺、精密压力传感器组成,装夹单元、连接单元及支撑单元包括放置被测试件的载物台、65Mn钢制压电驱动机构轨道和基座等。优点在于:驱动单元设计巧妙,装置结构紧凑,可与扫描电子显微镜等兼容,在其原位监测下进行包括原位纳米压痕、原位刻划在内的两种力学测试试验,为揭示材料在微纳米尺度下的力学特性和损伤机制提供了有效手段。
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公开(公告)号:CN107966377A
公开(公告)日:2018-04-27
申请号:CN201810030214.1
申请日:2018-01-12
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N3/42
CPC classification number: G01N3/42 , G01N2203/0003 , G01N2203/0019 , G01N2203/0051 , G01N2203/0078 , G01N2203/0641 , G01N2203/0647 , G01N2203/0682
Abstract: 本发明涉及一种基于仿生压电驱动原位纳米压痕/刻划测试装置,属于机电一体化精密仪器领域。由精密驱动单元、信号检测及控制单元、装夹单元、连接单元及支撑单元组成,所述精密驱动单元由两组仿生压电驱动机构提供动力,信号检测及控制单元由精密光栅尺、精密压力传感器组成,装夹单元、连接单元及支撑单元包括放置被测试件的载物台、65Mn钢制压电驱动机构轨道和基座等。优点在于:驱动单元设计巧妙,装置结构紧凑,可与扫描电子显微镜等兼容,在其原位监测下进行包括原位纳米压痕、原位刻划在内的两种力学测试试验,为揭示材料在微纳米尺度下的力学特性和损伤机制提供了有效手段。
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公开(公告)号:CN207675571U
公开(公告)日:2018-07-31
申请号:CN201820051895.5
申请日:2018-01-12
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N3/42
Abstract: 本实用新型涉及一种基于仿生压电驱动原位纳米压痕/刻划测试装置,属于机电一体化精密仪器领域。由精密驱动单元、信号检测及控制单元、装夹单元、连接单元及支撑单元组成,所述精密驱动单元由两组仿生压电驱动机构提供动力,信号检测及控制单元由精密光栅尺、精密压力传感器组成,装夹单元、连接单元及支撑单元包括放置被测试件的载物台、65Mn钢制压电驱动机构轨道和基座等。优点在于:驱动单元设计巧妙,装置结构紧凑,可与扫描电子显微镜等兼容,在其原位监测下进行包括原位纳米压痕、原位刻划在内的两种力学测试试验,为揭示材料在微纳米尺度下的力学特性和损伤机制提供了有效手段。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利