基于仿生压电驱动原位纳米压痕/刻划测试装置

    公开(公告)号:CN107966377B

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN201810030214.1

    申请日:2018-01-12

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于仿生压电驱动原位纳米压痕/刻划测试装置,属于机电一体化精密仪器领域。由精密驱动单元、信号检测及控制单元、装夹单元、连接单元及支撑单元组成,所述精密驱动单元由两组仿生压电驱动机构提供动力,信号检测及控制单元由精密光栅尺、精密压力传感器组成,装夹单元、连接单元及支撑单元包括放置被测试件的载物台、65Mn钢制压电驱动机构轨道和基座等。优点在于:驱动单元设计巧妙,装置结构紧凑,可与扫描电子显微镜等兼容,在其原位监测下进行包括原位纳米压痕、原位刻划在内的两种力学测试试验,为揭示材料在微纳米尺度下的力学特性和损伤机制提供了有效手段。

    基于仿生压电驱动原位纳米压痕/刻划测试装置

    公开(公告)号:CN207675571U

    公开(公告)日:2018-07-31

    申请号:CN201820051895.5

    申请日:2018-01-12

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本实用新型涉及一种基于仿生压电驱动原位纳米压痕/刻划测试装置,属于机电一体化精密仪器领域。由精密驱动单元、信号检测及控制单元、装夹单元、连接单元及支撑单元组成,所述精密驱动单元由两组仿生压电驱动机构提供动力,信号检测及控制单元由精密光栅尺、精密压力传感器组成,装夹单元、连接单元及支撑单元包括放置被测试件的载物台、65Mn钢制压电驱动机构轨道和基座等。优点在于:驱动单元设计巧妙,装置结构紧凑,可与扫描电子显微镜等兼容,在其原位监测下进行包括原位纳米压痕、原位刻划在内的两种力学测试试验,为揭示材料在微纳米尺度下的力学特性和损伤机制提供了有效手段。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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