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公开(公告)号:CN108074900B
公开(公告)日:2021-01-15
申请号:CN201711095362.3
申请日:2017-11-09
Applicant: 先进科技新加坡有限公司
IPC: H01L23/49 , H01L21/603
Abstract: 本发明提供了一种使用键合工具在第一键合点和第二键合点之间键合线的方法。它包括以下步骤:利用键合工具在第一键合点处形成第一键合,形成位于第一键合之上的第一扭结部,以及将键合工具移动到与第一扭结部间隔开预定距离的第一位置以从键合工具释放一定长度的线。该方法还包括将键合工具沿远离第二键合点的方向移动到在包括第一键合点、第二键合点和第一扭结部的平面外的第二位置的步骤。该方法还包括形成位于所述平面之外的第二扭结部,并且将键合工具移动到第二键合点以形成第二键合的步骤。
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公开(公告)号:CN108074900A
公开(公告)日:2018-05-25
申请号:CN201711095362.3
申请日:2017-11-09
Applicant: 先进科技新加坡有限公司
IPC: H01L23/49 , H01L21/603
Abstract: 本发明提供了一种使用键合工具在第一键合点和第二键合点之间键合线的方法。它包括以下步骤:利用键合工具在第一键合点处形成第一键合,形成位于第一键合之上的第一扭结部,以及将键合工具移动到与第一扭结部间隔开预定距离的第一位置以从键合工具释放一定长度的线。该方法还包括将键合工具沿远离第二键合点的方向移动到在包括第一键合点、第二键合点和第一扭结部的平面外的第二位置的步骤。该方法还包括形成位于所述平面之外的第二扭结部,并且将键合工具移动到第二键合点以形成第二键合的步骤。