公开(公告)号：CN106409984B

公开(公告)日：2017-10-24

申请号：CN201611092921.0

申请日：2016-12-02

Applicant: 中北大学

Inventor： 王红亮 ,  闫树斌 ,  张志东 ,  王继成 ,  赵学峰 ,  崔建功 ,  薛晨阳 ,  张文栋

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/09

Abstract: 本发明属于和光学领域和微纳系统领域，具体为一种“三明治”型超快光电探测金属超结构的制作方法。该结构包括表面生长一层二氧化硅的硅基片、在基片上转移的一层石墨烯薄膜、在石墨烯薄膜上沉积的方形孔洞阵列结构金属Ag薄膜层、电介质层、电介质层两端生长的金属Au电极薄膜层，以及整个结构的石墨烯覆盖层。利用方形孔洞阵列结构光学异常透射增强效应局域表面等离激元辐射增强效应耦合能够有效增强石墨烯薄膜光吸光性能以及光生载流子的产生，同时，本发明制得的金属超结构中夹心层的贵金属超材料结构具有的纳米级间隙能够使得石墨烯产生的光生载流子在其寿命内得到有效的收集，其光响应时间可以达到纳秒量级，从而实现了超快速的光电探测。