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公开(公告)号：CN112760607B
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202011418867.0
申请日：2020-12-07
Applicant: 上海航天设备制造总厂有限公司
Abstract: 本发明公开了一种空间辐照下长寿命纳米多层复合固体润滑膜层及其制备，采用闭合磁场非平衡磁控溅射技术在钛合金、铝合金、不锈钢、轴承钢等基底上沉积由Ti结合层、TiN承载层和AgTiNi/MoS2Ti纳米多层润滑功能层构成的纳米多层复合固体润滑膜层。该纳米多层复合膜层可在低轨道高原子氧密度，中高轨道高电子质子密度和高紫外辐照量等强空间辐照环境下长时间可靠服役，且承载能力强、摩擦系数低，可大幅度提高暴露在空间辐照环境中的空间飞行器运动部件的寿命，并提高其可靠性。此外本发明的制备方法具有工艺环保且灵活、膜厚均匀致密性好、程序化控制膜层制备过程，易于调控膜层的调制周期、可批量化处理等特点，易于实现工业生产，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN112760607A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202011418867.0
申请日：2020-12-07
Applicant: 上海航天设备制造总厂有限公司
Abstract: 本发明公开了一种空间辐照下长寿命纳米多层复合固体润滑膜层及其制备，采用闭合磁场非平衡磁控溅射技术在钛合金、铝合金、不锈钢、轴承钢等基底上沉积由Ti结合层、TiN承载层和AgTiNi/MoS2Ti纳米多层润滑功能层构成的纳米多层复合固体润滑膜层。该纳米多层复合膜层可在低轨道高原子氧密度，中高轨道高电子质子密度和高紫外辐照量等强空间辐照环境下长时间可靠服役，且承载能力强、摩擦系数低，可大幅度提高暴露在空间辐照环境中的空间飞行器运动部件的寿命，并提高其可靠性。此外本发明的制备方法具有工艺环保且灵活、膜厚均匀致密性好、程序化控制膜层制备过程，易于调控膜层的调制周期、可批量化处理等特点，易于实现工业生产，具有良好的应用前景。
