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公开(公告)号：CN117630118A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202310133032.8
申请日：2023-02-20
申请人： 艾感科技(广东)有限公司
IPC分类号： G01N27/12
摘要： 本发明涉及一种高灵敏度气体传感器检测电极制备方法及系统，检测电极包括设置在第一功能区域的检测区段，其配置有第一功能层和第二功能层，经由处理的感测基板形成了若干个通向检测区段的第一通孔，在第一通孔位置处形成的至少包括第三功能层和第四功能层的若干功能层与检测区段的第一功能层相互配合以改善传感器系统的至少包括接触电阻的性能；传感器系统至少包括位于第一功能区域的检测区段和绝缘结构，检测区段配置有用于检测的第二功能层，绝缘结构至少配置有用于连接检测区段的第一表面和用于沉积金属氧化物层的第一通孔；制备方法包括以下步骤：在支承结构上形成检测基板；将检测基板结构化以产生至少包括第一功能区域的若干个功能区域。
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公开(公告)号：CN117491437A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311530882.8
申请日：2023-11-16
申请人： 艾感科技(广东)有限公司
IPC分类号： G01N27/12
摘要： 一种基于三悬梁结构的高灵敏度微结构式气体传感器，包括设置有气敏材料的中置区域，中置区域依靠三个悬梁连接至其周围的基底层，除依靠悬梁连接之外，中置区域不与其周边的基底层接触，悬梁构建为多孔结构，悬梁具备连接至中置区域的第一端和连接至基底层的第二端，其中，悬梁是按照沿第一端至第二端逐渐变化孔径以及孔间距的方式设置的。
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公开(公告)号：CN115019480B
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202210602944.0
申请日：2022-05-27
申请人： 艾感科技(广东)有限公司
摘要： 本发明涉及高危化工行业。系统包含环境监测传感器(气味)、设备监测传感器(声音)和中控模块，在环境监测传感器被动触发而检测到环境中出现第一检测信息时，环境监测传感器触发设备监测传感器采集其检测范围内的与设备运行相关的第二检测信息，设备监测传感器以获取多点位的设备运行产生的声音。第一检测信息能够为气味。当目标物质发生泄漏时，目标物质于环境中逸散气味。环境中逸散的气味与环境监测传感器结合。环境监测传感器被触发，并发送该气味的相关信息至中控模块。中控模块基于气味的相关信息确认泄漏的目标物质。
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公开(公告)号：CN111766273B
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202010643562.3
申请日：2020-07-06
申请人： 艾感科技(广东)有限公司
摘要： 本发明涉及一种利用气体传感器阵列进行大气网格化监测系统，包括：气体传感单元和云端服务器。气体传感单元的数量与监控区域内的以网格化布置的空气监测站的数量相互对应，并能够向云端服务器发送其采集的至少一种能够反应目标气体污染程度的监测信号；云端服务器能够将监控区域内的气体传感单元发送的监测信号转换成监测数据。气体传感单元包括至少两种集成于同一基底的传感器，以使得气体传感单元能够以阵列的方式对目标气体进行探测，解决了传统金属氧化物传感器对气体选择性差，交叉响应的缺点。
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公开(公告)号：CN116930267A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310805825.X
申请日：2023-07-03
申请人： 艾感科技(广东)有限公司
IPC分类号： G01N27/12
摘要： 本发明涉及一种基于微机电系统的蓝宝石基气体传感器及其制造方法，其中，该气体传感器包括堆叠设置的如下部分：基底，其具有隔热腔；支撑层，配置在基底上，并具有悬浮于隔热腔上方的聚热区；加热组件，配置在支撑层上，具有加热丝；介电层，配置在加热组件上，并具有悬浮于隔热腔上方的聚热区；检测电极，配置在介电层上；传感层，配置在检测电极上，沉积有气敏材料；其中，支撑层和介电层中的至少一个的聚热区具有沿堆叠方向贯通的若干通孔，且支撑层和介电层各自层内的通孔孔径以从聚热区向周侧延伸方向逐渐变化的方式配置。
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公开(公告)号：CN113358732B
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202110822799.2
申请日：2021-07-20
申请人： 艾感科技(广东)有限公司
IPC分类号： G01N27/416 , G01D21/02
摘要： 本发明涉及一种气体传感器的远程校准系统及方法，所述系统至少包括：采集模块、标准传感器和云端服务器，所述采集模块至少包括浓度传感器、湿度传感器、温度传感器和用于采集所述浓度传感器的电参数的电参数采集模块，所述云端服务器至少包括建模模块和校准模块，所述建模模块基于所述采集模块发送的原始浓度参数、湿度参数、温度参数、电参数和标准传感器发送的标准数据按照深度学习算法建立校准模型，所述校准模块基于所述校准模型对所述采集模块发送的原始浓度参数进行校准。通过将气体传感器采集状态的电数据作为校准影响因素纳入校准模型中，提高校准模型的校准率，获得更准确的气体浓度参数。
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公开(公告)号：CN116858896A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310812489.1
申请日：2023-07-04
申请人： 艾感科技(广东)有限公司
摘要： 本发明涉及一种集成纳米管阵列的仿生嗅觉传感器及其制备方法。仿生嗅觉传感器包括由绝缘材料制成的三维基底、多元界面层、电极、绝缘层和加热层。三维基底设置有若干贯穿三维基底且呈阵列排布的通道。通道内壁通过设置传感材料层形成纳米管，将三维基底顶部与底部电导通。仿生嗅觉传感器还包括沿通道轴向设置在三维基底顶部的若干第一电极和设置在三维基底底部的若干第二电极。本发明在第一电极和三维基底间设置多元界面层以调节第一电极和纳米管之间的载流子传输，并且基于多元界面层中组分的梯度变化使得仿生嗅觉传感器中生成具有不同响应特征的传感像素，从而增加仿生嗅觉传感器的像素多样性。
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公开(公告)号：CN116840340A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310846970.2
申请日：2023-07-11
申请人： 艾感科技(广东)有限公司
摘要： 本发明涉及一种气体检测装置及方法。气体检测装置至少包括：第一传感器，其基于光电离子技术对有机挥发性气体进行间歇性检测，以采集第一气体数据；第二传感器，其基于半导体技术对有机挥发性气体进行连续检测，以采集第二气体数据。本发明融合了第一传感器和第二传感器，并且通过使第一传感器间歇性工作，降低了第一传感器的使用频率，从而延长了第一传感器的使用寿命。用于处理数据的处理模块至少能够基于第一气体数据以及在相同时间点采集的第二气体数据构建校准模型，处理模块基于校准模型对第二传感器实时采集的第二气体数据进行校准，从而得出气体检测装置对有机挥发性气体的检测结果。
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公开(公告)号：CN116840303A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310805824.5
申请日：2023-07-03
申请人： 艾感科技(广东)有限公司
IPC分类号： G01N27/12
摘要： 本发明涉及一种基于微机电系统的硅基半导体气体传感器及制造方法，其中，该气体传感器包括层叠设置的如下部分：基体部分，其作为载体；加热器，其配置在基体部分之上，包括用于提供热能的加热电阻丝；检测电极，其配置在加热器上方，包括叉指电极，叉指电极的电叉指交汇形成叉指区域；隔离层，其配置在加热器和检测电极之间，用于保持电学隔离；基底层，其配置在检测电极上方，包含有气敏材料；其中，加热电阻丝以与电叉指和/或叉指区域至少部分竖向不重叠的方式分层配置。
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公开(公告)号：CN116718643A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202310374892.0
申请日：2023-04-10
申请人： 艾感科技(广东)有限公司
摘要： 本发明涉及一种基于双通多孔基底的半导体气体传感器，其至少包括：第一电极，在通电的状态下用于传导感测反应时的电学变化；第二电极，用于配合第一电极形成电流通路；传感层，由表面沉积有用于检测气体的气敏材料的双通多孔基底组成，双通多孔基底由多个纳米管阵列形成。第一电极和第二电极按照第三方向上交叉不叠加的方式分别交错设置在传感层两侧，使得传感层上的纳米管至少一个管口能够与外部保持联通。本发明对感测电极进行改进，避免了由于感测电极布置时会覆盖纳米孔导致部分纳米孔无法进行气体检测的现象，提高了半导体气体传感器的检测效率。
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