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公开(公告)号：CN105493233B
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201380062908.9
申请日：2013-11-11
Applicant: 山田尖端科技公司
IPC: H01L21/027 , B05B5/025 , B29C33/58 , B29C33/72
Abstract: 提供一种使用了能够在工件上形成均匀且薄的薄膜的静电喷雾装置的抗蚀膜形成装置。抗蚀膜形成装置(100)是通过静电喷雾在基板上形成抗蚀膜(108)的抗蚀膜形成装置，具有：喷嘴(102)，通过被施加规定的电压，而将作为抗蚀膜(108)的原料的液剂的粒子(131)朝向具有台阶部(105a)的基板(105)喷雾；驱动单元(111)，使基板(105)或喷嘴(102)相对地移动；及控制单元(110)，以使用液剂的粒子在具有台阶部(105a)的基板(105)上形成抗蚀膜(108)的方式进行控制。
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公开(公告)号：CN1064900C
公开(公告)日：2001-04-25
申请号：CN95117552.1
申请日：1995-11-29
Applicant: 山田尖端科技公司
IPC: B30B15/00
CPC classification number: B30B15/0041 , B30B1/268 , B30B15/0047 , B30B15/281
Abstract: 在一种电动压力机构中，摆动铰接头由支承轴可摆动地支承着，而支承轴又由压力机顶板可转动地支承着，支承曲柄的曲柄轴支承在摆动铰接头的一端，驱动部分设在摆动铰接头的相对于支承轴与所述一端相反的另一端，在正常的压力加工操作中，由它调节摆动铰接头的位置，以使曲轴、支承轴和压力机滑块成一直线，在卡机后的重新设置操作中或在紧急状况时，使摆动铰接头摆动，以使压力机滑块移动到位于其在正常位置上方的缩回位置。
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公开(公告)号：CN1056491C
公开(公告)日：2000-09-13
申请号：CN94118900.7
申请日：1994-11-30
Applicant: 山田尖端科技公司
Inventor： 祖山英树
IPC: H05K3/30
CPC classification number: H05K13/0092 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种用在有若干个加工台的加工机上的，用吸附方式输送的模具，这种模具具有一根装在下模的加工台上方位置的送进臂，这根臂能在顺序送进的方向滑动，并且能相对于加工台表面作垂直运动；用来吸住单个零件的吸附垫，这些吸附垫以与加工台同样的间隔固定在三倍上；一个与各吸附垫连通的负压抽气机构，以及使送进臂作与加工过程同步的，垂直和往复运动的驱动控制机构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1126656A
公开(公告)日：1996-07-17
申请号：CN95117552.1
申请日：1995-11-29
Applicant: 山田尖端科技公司
IPC: B30B15/00
CPC classification number: B30B15/0041 , B30B1/268 , B30B15/0047 , B30B15/281
Abstract: 在一种电动压力机构中，摆动铰接头由支承轴可摆动地支承着，而支承轴又由压力机顶板可转动地支承着，支承曲柄的曲柄轴支承在摆动铰接头的一端，驱动部分设在摆动铰接头的相对于支承轴与所述一端相反的另一端，在正常的压力加工操作中，由它调节摆动铰接头的位置，以使曲轴、支承轴和压力机滑块成一直线，在卡机后的重新设置操作中或在紧急状况时，使摆动铰接头摆动，以使压力机滑块移动到位于其在正常位置上方的缩回位置。
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公开(公告)号：CN1108161A
公开(公告)日：1995-09-13
申请号：CN94118901.5
申请日：1994-11-30
Applicant: 山田尖端科技公司
CPC classification number: H01L21/67092 , H01L2924/0002 , H05K13/0092 , H05K13/023 , Y10T29/49121 , Y10T29/5143 , Y10T29/53178 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的引线加工机具有供应引线框架的机构，当工件顺序送进时，在工件上完成所需要的加工过程的加工和操作部分，和收集加工好的制品的机构，它的特征是，在上述加工和操作部分串联地安装了许多加工方向一致的模具，此外，在两个模具的中间位置上设置了导向机构和捡拾机构。
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公开(公告)号：CN105493233A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201380062908.9
申请日：2013-11-11
Applicant: 山田尖端科技公司
IPC: H01L21/027 , B05B5/025 , B29C33/58 , B29C33/72
Abstract: 提供一种使用了能够在工件上形成均匀且薄的薄膜的静电喷雾装置的抗蚀膜形成装置。抗蚀膜形成装置(100)是通过静电喷雾在基板上形成抗蚀膜(108)的抗蚀膜形成装置，具有：喷嘴(102)，通过被施加规定的电压，而将作为抗蚀膜(108)的原料的液剂的粒子(131)朝向具有台阶部(105a)的基板(105)喷雾；驱动单元(111)，使基板(105)或喷嘴(102)相对地移动；及控制单元(110)，以使用液剂的粒子在具有台阶部(105a)的基板(105)上形成抗蚀膜(108)的方式进行控制。
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公开(公告)号：CN1111549A
公开(公告)日：1995-11-15
申请号：CN94118900.7
申请日：1994-11-30
Applicant: 山田尖端科技公司
Inventor： 祖山英树
CPC classification number: H05K13/0092 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种用在有若干个加工台的加工机上的，用吸附方式输送的模具，这种模具具有一根装在下模的加工台上方位置的送进臂，这根臂能在顺序送进的方向滑动，并且能相对于加工台表面作垂直运动；用来吸住单个零件的吸附垫，这些吸附垫以与加工台同样的间隔固定在三倍上；一个与各吸附垫连通的负压抽气机构，以及使送进臂作与加工过程同步的，垂直和往复运动的驱动控制机构。
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公开(公告)号：CN1057423C
公开(公告)日：2000-10-11
申请号：CN94118901.5
申请日：1994-11-30
Applicant: 山田尖端科技公司
IPC: H05K3/30
CPC classification number: H01L21/67092 , H01L2924/0002 , H05K13/0092 , H05K13/023 , Y10T29/49121 , Y10T29/5143 , Y10T29/53178 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的引线加工机具有供应引线框架的机构，当工件顺序送进时，在工件上完成所需要的加工过程的加工和操作部分，和收集加工好的制品的机构，它的特征是，在上述加工和操作部分串联地安装了许多加工方向一致的模具，此外，在两个模具的中间位置上设置了导向机构和捡拾机构。
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