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公开(公告)号：CN105026883A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201480012327.9
申请日：2014-01-27
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01B15/00 , G01B11/00 , G01N23/225 , H01L21/66 , H01J37/22
CPC classification number: G06T7/001 , G06K9/6202 , G06K9/6284 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148 , H01J2237/2817 , H01L22/12
Abstract: 为了缩短缺陷图像的收集时间，缺陷检查装置具备：读出部，其读出已检测的半导体晶片的缺陷位置；第1摄像部，其在与读出的缺陷中的某一个缺陷所存在的芯片不同的芯片中，以第1倍率拍摄参照图像；第2摄像部，其以第1倍率拍摄包含读出的缺陷的第1缺陷图像；缺陷位置确定部，其比较通过第1摄像部拍摄的参照图像与通过第2摄像部拍摄的第1缺陷图像，来确定第1缺陷图像上的缺陷位置；以及第3摄像部，其基于确定缺陷位置，以比第1倍率高的第2倍率拍摄第2缺陷图像，并具有：排序部，其按照无重复地转一圈的路径顺序对读出的缺陷进行排序；以及载物台移动路径生成部，其对每个与参照图像对应的缺陷选择用于拍摄参照图像的芯片，并通过决定第1摄像部和第2摄像部中的载物台的移动位置来生成载物台移动路径。
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公开(公告)号：CN102760630B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201210135364.1
申请日：2007-02-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G01N23/20 , H01J37/21 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1536 , H01J2237/216 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法，在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
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公开(公告)号：CN104024838A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201280064315.1
申请日：2012-11-26
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/225 , G01N21/956
CPC classification number: G06F3/04842 , G02B21/365 , G06F9/451 , G06T7/0004 , H01J37/265 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明提供一种GUI、分类装置、分类方法、程序以及存储分类程序的存储介质。GUI具备：未赋予方框区域，其将作为类别信息未被赋予的图像的集合的文件夹分层显示；图像方框区域，其显示上述未赋予方框区域中显示的类别信息未被赋予的图像；和类别方框区域，其显示类别信息被赋予的图像；如果对于该类别信息未被赋予的图像从外部输入类别信息，则显示该输入的类别信息。
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公开(公告)号：CN103703536A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201280036744.8
申请日：2012-06-26
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 哈什亚·沙德曼 , 罗伯特·G·海恩斯 , 克里斯多夫·M·西尔斯 , 迈赫兰·纳赛尔-古德西
CPC classification number: H01J37/141 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G21K1/093 , H01J37/14 , H01J37/3007 , H01J37/3177 , H01J2237/2817
Abstract: 所揭示的一个实施例涉及一种设备，其包含电磁体，所述电磁体经布置以在区中提供大规模磁场。所述设备进一步包含使用穿过磁性材料的孔阵列在所述区中形成的多个电子束柱的阵列。另一实施例涉及一种产生电子束阵列的方法。使用至少两个磁极在区中产生大规模磁场。使用柱阵列产生电子束阵列，所述柱阵列是使用穿过定位于所述区中的磁性材料的孔形成的。还揭示其它实施例、方面和特征。
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公开(公告)号：CN102103967B
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201010528249.1
申请日：2006-11-28
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 , 以色列实用材料有限公司
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明涉及一种粒子光学组件。一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(101)的同一侧。第一极靴的一端部(124)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第一间隙，并且第三极靴的一端部(164)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第二间隙。第一励磁线圈(129)在第一间隙中生成聚焦磁场，而第二励磁线圈(167)在第二间隙中生成补偿磁场。第一电源(141)和第二电源(169)分别向第一励磁线圈(129)和第二励磁线圈(167)提供电流。在第二极靴(125)中生成的磁通量(142)与在第二极靴(125)中生成的磁通量(166)按同一方向取向。
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公开(公告)号：CN102760630A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201210135364.1
申请日：2007-02-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G01N23/20 , H01J37/21 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1536 , H01J2237/216 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法，在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
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公开(公告)号：CN102103967A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN201010528249.1
申请日：2006-11-28
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 , 以色列实用材料有限公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/145
CPC classification number: H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明涉及一种粒子光学组件。一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(101)的同一侧。第一极靴的一端部(124)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第一间隙，并且第三极靴的一端部(164)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第二间隙。第一励磁线圈(129)在第一间隙中生成聚焦磁场，而第二励磁线圈(167)在第二间隙中生成补偿磁场。第一电源(141)和第二电源(169)分别向第一励磁线圈(129)和第二励磁线圈(167)提供电流。在第二极靴(125)中生成的磁通量(142)与在第二极靴(125)中生成的磁通量(166)按同一方向取向。
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公开(公告)号：CN101978241A
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200980109275.6
申请日：2009-03-19
Applicant: 凸版印刷株式会社
IPC: G01B15/00 , G01N23/225 , H01J37/22 , H01L21/66
CPC classification number: G01B15/04 , G01B2210/56 , G01N23/00 , G06T7/0006 , G06T7/13 , G06T2207/10061 , G06T2207/10152 , G06T2207/30148 , G21K7/00 , H01J2237/221 , H01J2237/2611 , H01J2237/2809 , H01J2237/2817
Abstract: 一种微细结构体检查方法，用于检查样品微细结构图案的侧壁角度，其特征在于，具有：在多个SEM条件下拍摄所述样品微细结构图案的SEM照片的工序；测定所述SEM照片中的所述样品微细结构图案的边缘部位的白色带宽度的工序；基于所述白色带宽度随着所述多个SEM条件间的变化产生的变化量，计算出所述样品微细结构图案的侧壁角度的工序。
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公开(公告)号：CN101379584B
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN200680044609.2
申请日：2006-11-28
Applicant: 卡尔蔡司SMT股份有限公司 , 以色列实用材料有限公司
IPC: H01J37/141 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
Abstract: 一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(101)的同一侧。第一极靴的一端部(124)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第一间隙，并且第三极靴的一端部(164)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第二间隙。第一励磁线圈(129)在第一间隙中生成聚焦磁场，而第二励磁线圈(167)在第二间隙中生成补偿磁场。第一电源(141)和第二电源(169)分别向第一励磁线圈(129)和第二励磁线圈(167)提供电流。在第二极靴(125)中生成的磁通量(142)与在第二极靴(125)中生成的磁通量(166)按同一方向取向。
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公开(公告)号：CN100573801C
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200580029412.7
申请日：2005-09-01
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: H01J37/04
CPC classification number: H01J37/04 , G11B7/261 , H01J2237/0245 , H01J2237/04924 , H01J2237/1205 , H01J2237/1503 , H01J2237/2817 , H01J2237/3175
Abstract: 本发明提供了一种用于电子柱的运动设备，该运动设备提供了发射电子束的电子柱与其上照射电子束的样本之间的相对运动。该运动设备包括：用于将电子束发射到样本上的多微柱；用于支撑该多微柱的支架；以及用于驱动该支架以移动该多微柱的驱动装置。
