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公开(公告)号：CN201106064Y
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200720175720.7
申请日：2007-09-28
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
IPC: C23C14/42
Abstract: 一种三极溅射离子泵结构，属于真空电子设备领域，它是由一个置于中心的加正电位的阳极、其两侧各有一个加负电位的栅网状阴极、阴极外侧设有零电位的离子收集极组成。栅网状阴极还在栅丝上刻有槽沟。这种带栅网及槽缝状阴极的三极钛泵，呈现出比二极钛泵具有更高的抽气速率和对惰性气体的稳定性，改进了真空器件内部的状态。
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