公开(公告)号：CN103322912A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201310206690.1

申请日：2013-05-29

Applicant: 哈尔滨工程大学

Inventor： 单明广 ,  钟志 ,  郝本功 ,  刁鸣 ,  张雅彬 ,  窦峥

IPC: G01B11/00

Abstract: 本发明属于光学干涉检测领域，特别涉及一种反射式点衍射离轴同步移相的干涉检测装置。反射式点衍射离轴同步移相干涉检测装置，包括光源、准直扩束系统、第一偏振片、四分之一波片、第一透镜、非偏振分光棱镜、第二偏振片、平面反射镜、带有小孔的平面反射镜、第二透镜、偏振分光棱镜、图像传感器。本发明兼顾了CCD带宽利用率、CCD视场利用率、测量实时性、抗干扰能力和系统复杂性，使系统的整体性能有了提高；本发明结构简单，成本低；在操作中不需要改变光路，也不需要移动任何实验器件，操作方便灵活，稳定性高，系统复杂性低。

公开(公告)号：CN102914259A

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN201210371596.7

申请日：2012-09-29

Applicant: 哈尔滨工程大学

Inventor： 单明广 ,  钟志 ,  郝本功 ,  窦峥 ,  张雅彬 ,  刁鸣

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/06

Abstract: 基于分光同步移相的干涉检测装置及检测方法，属于光学干涉检测领域，本发明为解决现有光学相移干涉检测方法操作复杂困难、测量精度低的问题。本发明方案：光源发射的光束经偏振片和准直扩束系统的准直扩束后形成线偏振光，该线偏振光通过第一偏振分光棱镜后分成物光束和参考光束；汇合于第二偏振分光棱镜的物光束和参考光束通过λ/4波片和矩形窗口后，再依次经过第一傅里叶透镜、一维周期光栅、第二傅里叶透镜、消偏振分光棱镜和四象限偏振片组后，在图像传感器平面上产生干涉图样，计算机将采集获得的干涉图样处理，获取待测物体的相位分布。