基于传输反射机制的不规则薄膜电阻测试结构及方法

    公开(公告)号:CN112098728B

    公开(公告)日:2023-08-11

    申请号:CN202010978519.2

    申请日:2020-09-17

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明是一种基于传输反射机制的不规则薄膜电阻测试结构及方法。该测试结构主要是由衬底(4)、CPW传输线(1)、凹槽(3)和不规则薄膜电阻(2)四部分组成;不同工作频率的信号通过CPW传输线(1)的输入端输入,并被输出端的不规则薄膜电阻(2)反射;通过使用校准的网络分析仪或其它可测量反射损耗的仪器测量出在直流、中高频和射频频率下不规则薄膜电阻(2)引起的反射损耗,即可根据公式反推出对应频率下不规则薄膜电阻(2)呈现的电阻值;该测试结构及方法较为简单有效,可以用于测量不同工作频率下不规则薄膜电阻的电阻值,而且具有微型化、低功耗、集成化和低成本的特点。

    一种双通道自检测的MEMS微波功率分配器及其制备方法

    公开(公告)号:CN111039252B

    公开(公告)日:2023-07-25

    申请号:CN201911393730.1

    申请日:2019-12-30

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明提供了一种双通道自检测的MEMS微波功率分配器及其制备方法,包括位于砷化镓衬底上的微波功分器、热电式MEMS微波功率传感器以及三个电容式MEMS微波功率传感器;所述微波功分器为“T”型对称结构,包括三个端口,所述微波功分器的中间部分设有ACPS信号线;所述热电式MEMS微波功率传感器位于所述ACPS信号线所组成的环形区域内;每个所述电容式MEMS微波功率传感器均通过CPW结构与一个所述端口连接。本发明通过电容式和热电式双通道能够实时在线检测MEMS微波功率分配器的两端口是否为等分微波功率或是否发生失配情况,并且在线测量出输入和输出端口处微波功率的比例,从而实现了MEMS微波功率分配器的实时在线功率自检测。

    一种双模式MEMS流量传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN116465468A

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202310434690.0

    申请日:2023-04-21

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 张志强 顾闰淇

    Abstract: 本发明提供了一种双模式MEMS流量传感器,第一衬底与第二衬底,两者硅硅键合;在第一衬底的表面与体内设有:流道、第一空腔、第一硅衬底层、第一中间层、第一顶层、膜结构、压敏电阻、第一惠斯通电桥、第二惠斯通电桥、压焊块、第一连接线。在第二衬底的表面与体内设有:第二硅衬底层、第二中间层、第二顶层、第二空腔、加热电阻、第一热电堆、第二热电堆、压焊块、第二连接线。该流量传感器集成了热电式流量传感器与压阻式流量传感器,实现了双模式测量。该流量传感器的热电模式适用于测量小流速流体,压阻模式适用于测量大流速流体,在保证测量精度的同时拓宽了测量量程。该流量传感器流道制作在衬底内部,实现了微型化,易与环境集成。

    具有在线自检测功能的对称型MEMS定向微波功率耦合器

    公开(公告)号:CN111273089B

    公开(公告)日:2022-02-15

    申请号:CN201911412952.3

    申请日:2019-12-31

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明的具有在线自检测功能的对称型MEMS定向微波功率耦合器通过将两段ACPS传输线的信号线对称分布于主传输线的上下两侧,且每段ACPS传输线的长度为四分之一波长,构成对称型定向耦合器,利用对称型定向耦合器将入射微波功率分别耦合到耦合端端口三、五,使其具有两个耦合端的输出微波功率,从而实现了双端口耦合输出;在对称型定向耦合器的CPW传输线与ACPS传输线的四个连接节点处各放置一个电容式MEMS微波功率传感器,利用电容式MEMS微波功率传感器测量出两支路各端口传输的微波功率,实现了在线自检测功能;此外,其采用全无源结构具有零直流功耗以及与砷化镓单片微波集成电路工艺兼容等特点。

    基于热电式和电容式双通道在线检测的MEMS微波驻波计

    公开(公告)号:CN111044799B

    公开(公告)日:2022-02-15

    申请号:CN201911420905.3

    申请日:2019-12-31

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明的基于热电式和电容式双通道在线检测的MEMS微波驻波计将ACPS传输线的信号线对称放置在主传输线两端作为副传输线构成了对称型定向耦合器;对称型定向耦合器将入射微波功率和反射微波功率分别提取到上下两条支路的耦合端和隔离端;通过分别在上方支路和下方支路放置热电式和电容式MEMS微波功率传感器,测量上下两支路耦合端和隔离端的微波功率,进而得到驻波比;由于热电式MEMS微波功率传感器适合测量较小的微波功率,而电容式MEMS微波功率传感器适合测量较大的微波功率,因此采用两种传感器同时进行测量可以获得更大的微波驻波计测量动态范围;该MEMS微波驻波计具有低损耗、小芯片面积以及与砷化镓单片微波集成电路工艺兼容的特点。

    可在线自检测的MEMS微波功率传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN111044798B

    公开(公告)日:2021-10-26

    申请号:CN201911417524.X

    申请日:2019-12-31

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明的可在线自检测的MEMS微波功率传感器,通过将电容式MEMS微波功率传感器和对称热电式MEMS微波功率传感器串联在MIM电容两侧,构成双通道MEMS微波功率传感器;利用分压法,通过向连有标准电阻的压焊块上施加参考电压,即可对负载电阻的阻值进行检测;被检测电阻若处于正常工作状态下,热电堆两侧的负载电阻会分得相同的电压并转化为相同的热量,即热电堆两侧的温差完全由输入的微波功率产生;并且由于在左侧共面波导信号线上设有MIM电容,隔绝MEMS悬臂梁下方的共面波导信号线和后方的共面波导信号线的直流互联,以实现测量微波功率的同时检测负载电阻的功能;该MEMS微波功率传感器具有低损耗、高灵敏度以及具有终端电阻在线自检测的特点。

    一种可重构驱动电压RF MEMS开关及其制造方法

    公开(公告)号:CN111584310B

    公开(公告)日:2021-01-05

    申请号:CN202010511487.5

    申请日:2020-06-08

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明提供了一种可重构驱动电压RF MEMS开关及其制造方法,包括:基底;CPW结构,位于所述基底上;悬臂梁结构,设置在所述CPW结构上;驱动电极,设置在所述基底上,位于所述悬臂梁结构的悬臂梁的下方;以及充电结构,包括充电介质层以及压焊块,所述充电介质层设置在所述驱动电极上,所述充电介质层位于所述悬臂梁的下方;所述压焊块通过金属连接线与所述驱动电极连接。本发明的一种可重构驱动电压RF MEMS开关,通过增加充电介质层(隧穿层/陷阱层/阻挡层)能够捕获并存储电荷,对充电介质层进行“充电”可使其形成“附加电源”,从而在不改变开关原有结构参数的条件下实现RF MEMS开关的驱动电压的降低。

    基于传输反射机制的不规则薄膜电阻测试结构及方法

    公开(公告)号:CN112098728A

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN202010978519.2

    申请日:2020-09-17

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明是一种基于传输反射机制的不规则薄膜电阻测试结构及方法。该测试结构主要是由衬底(4)、CPW传输线(1)、凹槽(3)和不规则薄膜电阻(2)四部分组成;不同工作频率的信号通过CPW传输线(1)的输入端输入,并被输出端的不规则薄膜电阻(2)反射;通过使用校准的网络分析仪或其它可测量反射损耗的仪器测量出在直流、中高频和射频频率下不规则薄膜电阻(2)引起的反射损耗,即可根据公式反推出对应频率下不规则薄膜电阻(2)呈现的电阻值;该测试结构及方法较为简单有效,可以用于测量不同工作频率下不规则薄膜电阻的电阻值,而且具有微型化、低功耗、集成化和低成本的特点。

    一种基于驻极体的可重构驱动电压RFMEMS开关及其制备方法

    公开(公告)号:CN111627759A

    公开(公告)日:2020-09-04

    申请号:CN202010511287.X

    申请日:2020-06-08

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明提供了一种基于驻极体的可重构驱动电压RF MEMS开关及其制备方法,包括:固支梁,所述固支梁的两端远离第二衬底的一面设置第一键合结构;CPW结构,包括CPW信号线以及位于所述CPW信号线两侧的CPW地线;所述CPW地线上设置第二键合结构,所述固支梁通过所述第一键合结构与所述第二键合结构的键合工艺设置在所述CPW结构上;驱动电极,位于所述CPW信号线与所述CPW地线之间;以及充电结构,所述充电结构包括驻极体以及压焊块,所述驻极体设置在所述驱动电极上。本发明的一种基于驻极体的可重构驱动电压RF MEMS开关及其制备方法,能够同时满足低驱动电压和高驱动电压的应用要求,这既能够有效降低开关的驱动电压,又能够防止粘连失效的发生。

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