公开(公告)号：CN101345186A

公开(公告)日：2009-01-14

申请号：CN200810126565.9

申请日：2008-07-10

Applicant: 应用材料股份有限公司

Inventor： 黄宜乔 ,  梅伊特·马哈贾尼

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/673 ,  C23C16/458 ,  C23C16/455 ,  F27B17/00 ,  F27D5/00 ,  F27D7/00 ,  F27D7/02

CPC classification number: H01L21/67309 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/45578 ,  C23C16/4584 ,  C23C16/54 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/312 ,  H01L21/3141

Abstract: 本发明一般提供用于在批量加工室内多个基片的加工的装置和方法。本发明的一个实施例提供用于加工多个基片的方法，包括将该多个基片放置在批量加工室的内部体积内，其中以基本平行的方式排列该多个基片，以及将该多个基片的至少一部分以器件侧向下的方式放置，以及使一种或几种加工气体流过该多个基片。

公开(公告)号：CN100432609C

公开(公告)日：2008-11-12

申请号：CN200510104486.4

申请日：2005-11-08

Applicant: 青岛科技大学 ,  深圳清华大学研究院

Inventor： 李镇江 ,  张金丽 ,  孟阿兰 ,  张淼 ,  李荣先

IPC: F27D7/00 ,  F27D7/06 ,  F27D9/00 ,  F27B5/04

Abstract: 本发明涉及纳米材料合成技术领域，属一种用于气相法连续制备纳米材料的智能周期性可控气氛炉。本发明的炉体由进料室、反应室、出料室三个单元组成，在反应室与进料室、反应室与出料室之间分别设有水冷过渡区。生产时将原料装在物料盘内放入进料室，由液压缸将物料盘推入反应室；反应后的产物由另一液压缸由反应室拉入出料室进行冷却。物料的进、出炉可分别同步进行，反应室的温度只需一次升温，持续保持其工作温度就可连续进行生产，与单室炉相比可提高生产效率和反应炉的使用寿命，并节约大量能源。

公开(公告)号：CN1532506A

公开(公告)日：2004-09-29

申请号：CN03120924.6

申请日：2003-03-25

Applicant: 北京七星华创电子股份有限公司

Inventor： 赵阳 ,  赵素玲

IPC: F27D9/00 ,  F27D7/00 ,  F28D7/10

Abstract: 本发明提供一种用于冷却真空工业炉的热交换器，包括腔体、进风口、出风口、翅片、冷却水管、总进水口、总出水口，翅片套在冷却水管上，并安装在热交换器的腔体内，冷却水管穿插在热交换器的腔体内外，在冷却水管与热交换器的腔体壁接触的部位添加过渡管，采用自制的焊接工艺。热交换器上的无冷却水管穿过的两侧壁设计成侧壁夹层，并安装冷却装置。这样减小了整个热交换器的体积，同时保证热交换器的密闭性，造价低，交换率高。

公开(公告)号：CN1417550A

公开(公告)日：2003-05-14

申请号：CN02105122.4

申请日：2002-02-22

Applicant: 光洋热系统株式会社

Inventor： 长嶋靖

IPC: F27D7/00 ,  F27D11/02

Abstract: 一种利用备有相互隔开并列的多个板状加热器(3)的加热装置，对在相互邻接的加热器(3)之间与加热器(3)的加热面(3a)对向配置的加热对象(4)进行加热的方法。将比加热器(3)的设定温度低的低温气体导入设于各加热器(3)的内部的气体流动空间(20)内，使导入该气体流动空间(20)的气体从加热面(3a)的中央向周边流动。

公开(公告)号：CN1095980C

公开(公告)日：2002-12-11

申请号：CN95104437.0

申请日：1995-05-19

Applicant: 岛津麦库泰姆株式会社

Inventor： 中务荣治 ,  武田正夫 ,  山内一平

IPC: F27D7/00

CPC classification number: F26B21/14 ,  B01D5/0009 ,  B01D5/0045 ,  B08B7/0071 ,  F26B5/04 ,  F26B25/006 ,  F27D17/008

Abstract: 在加热炉内设置一个容纳工件的箱壳，同时在箱壳内形成一个从加热炉内侧到箱壳内侧的气体流动，加热箱壳内的工件，使工件中的有机物质蒸发。通过内部抽空系统把含有有机物质的蒸汽排出加热炉，把该蒸汽引入一液化收集器，在减压的条件下液化含有有机物质的蒸汽。随后，把液化的有机物质不断地收集在一容器中。

公开(公告)号：CN1314825A

公开(公告)日：2001-09-26

申请号：CN99810134.6

申请日：1999-08-16

Applicant: 标线公司

Inventor： 卡尔·C·奈斯比特 ,  孙晓伟

IPC: B01J20/02 ,  F27D7/00

CPC classification number: C02F1/46109 ,  B01J20/20 ,  C01B32/05 ,  C02F1/4691 ,  C02F1/4696 ,  C02F2001/46133 ,  C02F2101/18 ,  C02F2103/08 ,  C02F2103/10 ,  C04B35/52 ,  C04B35/6455 ,  C04B2235/5409 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/77 ,  C25C7/02 ,  C25D17/10 ,  H01G9/145 ,  H01G11/34 ,  H01G11/42 ,  H01M4/043 ,  H01M4/0471 ,  H01M4/583 ,  H01M4/8663 ,  Y02E60/13 ,  Y10T428/2913 ,  Y10T428/2918 ,  Y10T428/2982 ,  Y10T428/30

Abstract: 一种由无定形碳通过高温压缩固结制备的碳基材料。该材料具有独特的化学和物理性质,可广泛应用于电力、电化学及结构领域。

公开(公告)号：CN1048728A

公开(公告)日：1991-01-23

申请号：CN89108153.4

申请日：1989-10-25

Applicant: 关东冶金工业株式会社

Inventor： 高桥进

IPC: C21D1/74 ,  F27D7/00

CPC classification number: F27B5/16 ,  C21D1/763 ,  C21D1/767 ,  F27B2005/167 ,  F27D7/04

Abstract: 本实用新型涉及连续式可控气氛热处理炉改善炉内气氛用的一种搅拌机，该搅拌机设有一个叶轮轴和若干个叶片，通过叶片的旋转运动使其中心部形成一个负压区，在吸引炉内气氛的同时，还把添加气体从叶轮轴吸入炉内，被吸引的炉内气氛沿叶轮径向呈放射状地排出，还设有一个环状催化剂。与叶轮轴同心，靠近叶轮外圆，在较低温度下具有催化作用。

公开(公告)号：CN113028849B

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202110492764.7

申请日：2021-05-07

Applicant: 南京长江工业炉科技集团有限公司

Inventor： 孔亚平 ,  周皓

IPC: F27D21/00 ,  F27D7/00 ,  F23D14/00

Abstract: 本发明公开了一种固化炉用连续加压控制检测系统，包括：炉体；气体回收装置，设置在所述炉体的顶端；连续加压机构；设置在所述炉体的外侧；燃烧加热盘，所述燃烧加热盘的数量为若干个，且若干个所述燃烧加热盘可移动地在所述炉体的内侧；移动机构，设置在所述炉体的内侧。该固化炉用连续加压控制检测系统，通过燃烧加热盘对炉体内进行加热，以加大气体对燃烧加热盘内的输送量，进而可增大炉体内的燃烧效果，从而可更快的提高炉体内的整体温度，可对炉体内的局部进行燃烧加热，进而节省大量的燃烧能源，降低了生产成本。

公开(公告)号：CN118442836B

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202410529553.X

申请日：2024-04-29

Applicant: 连云港裕华矿产有限公司

Inventor： 孙金雷 ,  许建军

IPC: F27D17/00 ,  B01D46/10 ,  B01D46/681 ,  B01D53/26 ,  F27D25/00 ,  F27D7/00

Abstract: 本发明涉及烧结炉余热利用技术领域，公开了一种真空烧结炉及用于碳化硅制品烧结方法，包括炉体、设于炉体外的气体循环设备，气体循环设备包括过滤仓和蒸发仓，过滤仓内设置有除杂装置，除杂装置包括过滤组件，蒸发仓内设置有分离装置，分离装置包括分离组件；过滤组件包括过滤件和收纳仓，过滤件一侧设有刮除件和驱动件；分离组件包括蒸发器和集水仓。本发明通过过滤仓中滤板的设置，对炉体内排出的高温油气进行过滤，同时利用蒸发器的馏分工艺，将过滤后的高温油气进行分解，从而将高温油气中的液态杂质进行分离，从而达到对高温油气进行除杂效果，解决了高温油气在进行循环利用时，高温油气内的杂质会对下一次炉体内烧结的制品造成污染的问题。

公开(公告)号：CN113432433B

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202110799080.1

申请日：2021-07-15

Applicant: 格力电器(武汉)有限公司 ,  珠海格力电器股份有限公司

Inventor： 王成根 ,  陈昌中 ,  范召卿 ,  谭德强 ,  杨波 ,  谢洋

IPC: F27B21/08 ,  F27D7/00

Abstract: 本发明公开一种干湿两用的烧结炉风幕，包括固定侧板和导流机构，所述导流机构安装在两块固定侧板之间，所述导流机构包括导流隔板、连接杆、旋钮机构和固定插销，所述导流机构设有若干块导流隔板，所述导流隔板装于两块固定侧板之间，所述若干块导流隔板呈阶梯状按从小到大顺序排列安装，所述连接杆从若干块导流隔板中心穿过，所述旋钮机构装于固定侧板上，所述固定插销与导流隔板、连接杆连接；本发明通过一种特殊结构的风幕导流隔板，将烧结炉内气流分隔成数道气流，控制风速，形成分布均匀的风幕，避免气流直吹工件，实现同炉可烧结干粉坯与湿粉坯，节省烧结设备占用面积，降低投入成本和日常的维护成本。