利用近似处理隔离来涂覆基板的装置和方法

    公开(公告)号:CN101443473A

    公开(公告)日:2009-05-27

    申请号:CN200780016758.2

    申请日:2007-05-11

    CPC classification number: C23C16/54 C03C17/002 C23C14/568

    Abstract: 一种用于涂覆基板的装置可包括在泵分隔室两侧的两个处理分隔室。该泵分隔室与两个处理分隔室和通道可操作地连通,用于经由多个泵从中泵吸气体,且其足以用于大致彼此隔离关于基板涂覆处理的与一个处理分隔室相关的气体和与另一个处理分隔室相关的气体。当通道长度小于与一个处理分隔室相关的路径长度、与另一个处理分隔室相关的路径长度或这两个路径长度平均值的两倍时,泵分隔室是足够的。也提供了用于泵吸与基板涂覆处理相关的气体的装置和与涂覆基板或泵吸气体相关的方法。

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