多线切割机工作台
    61.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102837372B

    公开(公告)日:2015-06-03

    申请号:CN201210346138.8

    申请日:2012-09-18

    IPC分类号: B28D7/00 B28D5/04

    摘要: 本发明公开了一种加工硬脆材料曲面的多线切割机工作台,所述的曲面为直母线运动而形成的曲面,它包括机架(1),机架(1)上设有由竖直驱动机构带动的竖直滑座(9),其特征是水平固定座(11)安装在竖直滑座(9)上,水平固定座(11)上设有由水平驱动机构带动的水平滑座(18),工作台(21)安装在水平滑座(18)上;控制装置通过对竖直驱动机构、水平驱动机构的控制实现对工作台(21)在竖直和水平两个方向的合成进给,本发明工作台可同时实现二个方向的进给,以完成硬脆材料曲面的多线切割,大大提高了工作效率。

    曲面抛光机的抛光装置
    62.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103737472A

    公开(公告)日:2014-04-23

    申请号:CN201310734762.X

    申请日:2013-12-27

    IPC分类号: B24B29/02

    CPC分类号: B24B39/00

    摘要: 本发明公开了一种由抛光盘对移动的工作平台上的工件施加设定压强的曲面抛光机的抛光装置,它包括机架,机架上设有可旋转的抛光盘,其特征是机架上设有实现抛光盘对移动的工作平台上的工件施加设定压强的动态加压装置,所述动态加压装置通过安装在升降机架上的抛光盘对工件保持施加设定的压强,本发明结构简单,通过PLC可实现抛光盘对工件施加设定的压强进行抛光,克服了现有抛光存在的缺陷,同时,工作平台的移动,大大提高了生产效率并为实现流水线生产打下了基础。

    多线切割机钢丝线的调线装置

    公开(公告)号:CN103009490A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201210569696.0

    申请日:2012-12-25

    IPC分类号: B28D5/04

    摘要: 本发明公开了一种提高多线切割机切割厚度范围的多线切割机钢丝线的调线装置,它包括安装在前固定板、后主板上尺寸、线槽数、槽间距相同的左切割罗拉、右切割罗拉,其特征是后主板上设有导轮安装板,导轮安装板上分别设有进线导轮组、出线导轮组;使钢丝线)由左切割罗拉的第一个线槽竖直引出,切入进线导轮组上的第一个导轮,再切入出线导轮组上与之共面的第一个导轮,然后竖直向下进入右切割罗拉的第二个线槽,完成钢丝线的换槽,本发明避免因切割罗拉上V形环槽的间距过大而引起切割罗拉的槽间跨角过大,出现跳线和切割罗拉偏磨等不良现象,保证了产品加工精度,节约了加工成本。

    基于伺服电机的排线控制方法

    公开(公告)号:CN100565392C

    公开(公告)日:2009-12-02

    申请号:CN200710303416.0

    申请日:2007-12-24

    IPC分类号: G05B11/32

    摘要: 本发明公开了一种基于伺服电机的排线控制方法,首先以排线电机自带的绝对值编码器原点为坐标系原点,以电机相对原点的偏转角度为自变量,建立排线电机的位置坐标系;根据收线工字轮的内缘两端的位置,给定排线滑轮位置移动区间,并将排线电机的速度和位置信息实时向运动控制器反馈,运动控制器再根据排线电机反馈的速度和位置信息和收线电机反馈的角速度,计算下一个采样周期排线电机的指令速度。本发明用绝对值编码器和伺服电机来代替接近开关和变频电机极大地提高了控制精度;且能任意设定限位位置,运行可靠;速度跟踪控制采用的是先进的无轴传动技术,速度控制精度高,排线均匀平整。

    多线切割机收线装置中摆线电机的控制方法

    公开(公告)号:CN101015942A

    公开(公告)日:2007-08-15

    申请号:CN200610136980.3

    申请日:2006-12-29

    IPC分类号: B28D5/04 B27B19/12

    摘要: 本发明公开了一种使用成本低,钢丝在收线轮上均匀紧密排布的多线切割机收线装置中摆线电机的控制方法,其特征是在收线轮收线至两端位置换向段时,每一次切割周期内,摆线电机带动滑轮直线运动位移逐次递减,端位停留时间逐次递增,直致收线逼近端位,摆线电机收线方向换向,本发明经使用收线轮钢丝排布均匀,因收线不均而造成断线减少90%以上,且调整维护极为简便,提高了机器稳定可靠性,完全可以取代伺服电机在相同位置的作用,具有极高的性价比。

    一种晶圆定位搬运装置
    66.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117790394A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202311768371.X

    申请日:2023-12-21

    IPC分类号: H01L21/687 H01L21/68

    摘要: 一种晶圆定位搬运装置,包括定位机构、抵触机构、搬运机构,定位机构包括凹型压盖、设置在凹型压盖上的定位盘、设置在凹型压盖内的固定轴、设置在固定轴上的浮动轴,固定轴上端与浮动轴之间设有承载弹簧,固定轴内部螺纹连接有调整螺杆,调整螺杆上端延伸出固定轴并与承载弹簧下端相抵,浮动轴上方设有载台;抵触机构包括开设在定位盘上的复数个抵触通道,抵触通道内设有抵触杆,抵触杆的一端连接有抵触头、另一端连接有第一压簧,抵触头一端与浮动轴相抵触,第一压簧通过螺盖限制在抵触通道内;搬运机构包括盘主体、通过锁紧螺母设置在盘主体边缘的触头;本发明通过搬运装置完成晶圆的中心定位,从而达到节省一套定位装置驱动机构的目的。

    一种双面抛光机
    67.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117655891A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202311793848.X

    申请日:2023-12-25

    摘要: 一种双面抛光机,包括箱体、设置在箱体上的传动主体上盘装置、摆臂驱动装置、摆臂定位装置;传动主体包括主支座,设置在主支座上的齿圈传动机构、设置在主支座上并位于齿圈传动机构内的下盘传动机构、设置在主支座上并位于下盘传动机构内的太阳轮传动机构;上盘装置包括上盘升降组件、与上盘升降组件连接的上盘旋转组件;摆臂驱动装置包括轴承座Ⅰ、设置在轴承座Ⅰ上的曲柄轴,曲柄轴上设有连杆,连杆的一端与上盘升降组件连接;摆臂定位装置包括固定在箱体上的固定座、滑动连接在固定座的定位销、设置在上盘升降组件上的定位套、与定位销连接的伸缩气缸;由此,本发明能够保证了上盘、下盘、太阳轮、齿圈的运转精度及稳定运行。

    一种抛光机供液控制系统
    68.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117620899A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311785678.0

    申请日:2023-12-25

    摘要: 一种抛光机供液控制系统,包括抛光机、蓄液桶、可编程控制器,抛光机与蓄液桶之间设有供液系统、液体回收系统,供气系统;供气系统包括与气源连通的气源过滤器、与气源过滤器连通的气压力开关、与气压力开关连通的电气比例阀、与电气比例阀连通的电磁阀、与电磁阀连通的隔膜泵、与隔膜泵连通的第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀;供液系统包括与蓄液桶连接的第一隔膜阀,第一隔膜阀与第一电磁阀连通,第一隔膜阀的出液口连接有供液管,供液管远离第一隔膜阀的一端与抛光机的进液口连通;液体回收系统包括与蓄液桶连接的第二隔膜阀,第二隔膜阀与第二电磁阀连通,第二隔膜阀连接有进液管,进液管远离第二隔膜阀的一端与抛光机的出液口连通。

    一种用于四周抛光机的高精度定位夹紧装置

    公开(公告)号:CN117464539A

    公开(公告)日:2024-01-30

    申请号:CN202311706252.1

    申请日:2023-12-13

    IPC分类号: B24B29/02 B24B41/06 B24B47/00

    摘要: 一种用于四周抛光机的高精度定位夹紧装置,包括工作室,工作室包括工作室下板、设置在工作室下板四周的工作室支柱以及设置在工作室支柱上的工作室上板,工作室下板上设有下夹具组件、工作室上板上设有与下夹具组件相对应的上夹具组件;由此,在夹持工件的过程中,可通过下夹具组件中的气缸微调节,消除夹持中的误差,将工件稳固的夹紧,使得加工出来的工件精度大大提升。

    一种基于真空镀膜的晶控旋转集成控制系统

    公开(公告)号:CN113355645B

    公开(公告)日:2023-12-15

    申请号:CN202110554396.4

    申请日:2021-05-20

    发明人: 蔡国 龚涛 谢俊

    IPC分类号: C23C14/54 C23C14/34

    摘要: 本申请公开的基于真空镀膜的晶控旋转集成控制系统,与现有技术相比,包括:用以监控镀膜工艺设备并且收发控制信号的上位机;与上位机连接的PLC主控模块;与PLC主控模块连接的控制管理模块;连接控制管理模块的第一控制模块以及第二控制模块;与第一控制模块连接的旋转驱动执行模块、转架安装执行模块以及水冷循环执行模块;与第二控制模块连接的温度调控检测模块、气体调控检测模块以及膜厚调控检测模块;与第一控制模块以及第二控制模块通信连接的通讯会话系统;设于镀膜工艺设备上,与通讯会话系统连接的镀膜执行终端以及镀膜检测终端。相较于现有技术而言,其能够集成控制多功能传动装置以及执行终端进行镀膜作业,提高镀膜控制精度。