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公开(公告)号：CN1384525A
公开(公告)日：2002-12-11
申请号：CN02118812.2
申请日：2002-04-28
Applicant: 日新电机株式会社
Abstract: 现有技术的法拉第装置中,仍有部分等离子体能够到达法拉第杯,因而影响了离子束电流的测量精度。本发明提供了一种法拉第装置,其中设置了一对磁体,用于在所述孔径附近产生一个具有横跨所述障板孔径的方向的磁场,于是射束等离子体和障板表面附近产生的等离子体不能到达正偏置电极。由此减少了包含于等离子体中的离子被抑制器电极的负电压吸引并被入射到法拉第杯上的机会,因而减少了束电流测量中的误差。
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