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公开(公告)号：CN1794474A
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN200510119710.7
申请日：2005-11-02
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L31/103
Abstract: 一种波导共振增强型光电探测器，涉及一种光电探测器，尤其是涉及一种波导共振增强型光电探测器。提供一种可实现对入射光的有效限制和共振增强效应，提高器件的量子效率，同时使器件具有波长选择特性的一种波导共振增强型光电探测器，主要用于对近红外波段入射光的探测。设有脊型光波导、两个介质分布布拉格反射镜和电极，光波导生长在SOI衬底或硅单晶衬底上，作为吸收区，两个反射镜分别设于光波导两端，形成共振腔，电极端接光波导N型硅和P型硅。是一种高量子效率的Si基光电探测器，工作波长从可见光到近红外光。器件尺寸与RC时间大幅减小，在相同的量子效率下可得到更高的响应速度。吸收区厚度不受SiGe临界厚度和响应速度限制。
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