抗反射膜和红外线光学元件

    公开(公告)号:CN102213777B

    公开(公告)日:2014-08-27

    申请号:CN201110085972.1

    申请日:2011-04-02

    发明人: 栗原忠幸

    IPC分类号: G02B1/11 G02B1/10 B32B9/00

    摘要: 本发明提供抗反射膜和红外线光学元件。设置在硫属化物玻璃基底表面上的抗反射膜包括第一薄膜层和第二薄膜层。第一薄膜层由通过离子束辅助沉积形成的Bi2O3单层组成。由YF3制成的第二薄膜层包括交替地层压的辅助层和非辅助层。所述辅助层是通过离子束辅助沉积形成的,而所述非辅助层是在没有离子束辅助的情况下形成的。辅助层具有优良的粘附性和表面平坦性或平滑性。另一方面,非辅助层具有小的内应力。第二薄膜层起缓冲的作用以减小第一和第二薄膜层的内应力。