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公开(公告)号:CN102629861A
公开(公告)日:2012-08-08
申请号:CN201210022419.8
申请日:2012-02-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/215 , H03H9/0547 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备。课题在于抑制振动片的Q值降低。作为解决手段,石英振动片(1)的特征在于,具有:基部(10);振动臂(11a、11b、11c);以及设置在振动臂(11a、11b、11c)上的激励电极(12a、12b、12c),激励电极(12a、12b、12c)具有:设置在振动臂(11a、11b、11c)的主面(10a)侧的第1电极(12a1、12b1、12c1);与第1电极(12a1、12b1、12c1)相对设置的第2电极(12a2、12b2、12c2);以及在第1电极(12a1、12b1、12c1)和第2电极(12a2、12b2、12c2)之间延伸的压电体(13),第1电极(12a1、12b1、12c1)和第2电极(12a2、12b2、12c2)的至少一方采用了ITO。
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公开(公告)号:CN102195564A
公开(公告)日:2011-09-21
申请号:CN201110068370.5
申请日:2011-03-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 山崎隆
IPC: H03B5/32
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/02125
Abstract: 本发明提供一种能够以简单且低成本的方式获得所需的振动特性的振动体、振动装置以及电子设备。振动体(2)具备:基部(27);从该基部起延伸的振动臂(28、29、30);被设置在该振动臂上的压电体元件(22、23、24);被设置在该振动臂上的第1电极层(222、231、241);被设置在该第1电极层上的压电体层(222、232、242);被设置在该压电体层上的第2电极层(223、233、243),其中,在这些层中的至少一个层上,形成有多个在其厚度方向上贯穿的细微的孔。
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